[发明专利]检查治具以及基板检查装置

权利要求书

1.一种检查治具，用以使探针与设置在成为检查对象的基板的检查点相接触，所述检查治具包括：

检查侧支撑体，具有相向平板，所述相向平板上设置有与所述基板相相向地配置的相向面；

电极侧支撑体，相向配置在与所述相向平板的所述相向面相反之侧，具有支撑平板及平坦面；

连结构件，将所述检查侧支撑体与所述电极侧支撑体隔开规定距离加以保持；以及

活动平板，相对于所述平坦面平行地滑动自如地相向配置；且

在所述相向平板，形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，

在所述支撑平板，对应于所述相向平板的探针插通孔而设置有使所述探针的后端部插通而进行支撑的探针支撑孔，

在所述活动平板，对应于所述支撑平板的探针支撑孔而设置有用以使所述探针贯通的探针贯通孔，

所述检查治具进而包括能够切换容许状态与约束状态的切换部，所述容许状态是使所述活动平板能够沿与所述平坦面平行的容许方向移动的状态，所述约束状态是以所述探针贯通孔的中心相对于所述探针支撑孔的中心沿所述容许方向偏离规定的偏离量的方式设置所述活动平板的状态，

所述探针支撑孔包括：

支撑侧大径部，朝向所述支撑平板的所述活动平板侧的面形成开口；以及

支撑侧小径部，形成于比所述支撑侧大径部更远离所述活动平板之侧，并且直径小于所述支撑侧大径部；且

所述探针贯通孔包括：

活动侧大径部，朝向所述活动平板的所述支撑平板侧的面形成开口；以及

活动侧小径部，形成于比所述活动侧大径部更远离所述支撑平板之侧，并且直径小于所述活动侧大径部；

所述约束状态下的所述偏离量小于所述支撑侧大径部的半径及所述活动侧大径部的半径的合计值与所述探针的直径的差。

2.根据权利要求1所述的检查治具，其中

所述切换部包括：

定位孔，能够使销插通，所述销贯通所述支撑平板并且用以对所述活动平板的位置进行约束；以及

接收孔，能够接收所述销地形成在所述活动平板，所述销贯通所述支撑平板且自所述定位孔突出。

3.根据权利要求2所述的检查治具，其中在所述销的前端部，形成有自所述销的外周向轴心倾斜的倾斜面。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查治具，其中进而包括：隔离限制构件，对所述活动平板的与所述平坦面垂直的方向上的移动进行限制。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的检查治具，其中

所述电极侧支撑体包括收容所述活动平板的凹部，

将所述凹部的底面设为所述平坦面，

所述凹部的在所述偏离的方向上相相向的侧壁间的距离比所述活动平板的所述偏离的方向上的长度大所述偏离量以上。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的检查治具，其中所述探针支撑孔的中心相对于所述探针插通孔的中心在与所述平坦面平行的方向上产生偏离。

7.根据权利要求6所述的检查治具，其中所述探针支撑孔的中心相对于所述探针插通孔的中心的偏离方向、与所述约束状态下的所述探针贯通孔相对于所述探针支撑孔的偏离方向相同。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的检查治具，其中进而包括：

所述探针；且

所述活动平板是在所述容许状态下，基于所述探针的弹性恢复力而定位。