[发明专利]蚀刻废液处理方法有效
| 申请号： | 201880027139.1 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN110546109B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 石川直辉;甲斐康司;中世古隆生;中岛孝仁;樱井健一;藤原武史;山崎优 | 申请（专利权）人： | 株式会社NSC |
| 主分类号： | C02F1/58 | 分类号： | C02F1/58;B01D53/40;C02F1/60 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 日本国大阪府*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种废弃物处理系统和废弃物处理方法，该废弃物处理系统不管玻璃基板的蚀刻处理中产生的蚀刻废液的状态如何，都可以简易且抑制成本地实施蚀刻废液的处理。蚀刻废液处理系统(10)以对在进行玻璃基板的蚀刻处理的蚀刻装置中产生的蚀刻废液进行处理的方式构成。该蚀刻废液处理系统(10)至少具备反应槽(15)和作为无害化单元的酸性洗涤器(30)。在反应槽(15)中，一边缓和蚀刻废液的酸性度一边增稠至能够输送的程度，进而进行增稠蚀刻废液的中性污泥化。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 废液 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻废液处理系统，其以对在使用氢氟酸的蚀刻处理中产生的蚀刻废液进行处理的方式构成，所述蚀刻废液处理系统具备：/n反应槽，其以通过对所述蚀刻废液添加含有碱土金属的氧化物、氢氧化物或碳酸盐的碱性固化剂并使其反应，从而将所述蚀刻废液中性污泥化的方式构成；以及/n无害化单元，其以将从所述反应槽产生的气体无害化的方式构成。/n
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