[发明专利]蚀刻废液处理方法有效
| 申请号： | 201880027139.1 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN110546109B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 石川直辉;甲斐康司;中世古隆生;中岛孝仁;樱井健一;藤原武史;山崎优 | 申请（专利权）人： | 株式会社NSC |
| 主分类号： | C02F1/58 | 分类号： | C02F1/58;B01D53/40;C02F1/60 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 日本国大阪府*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 废液 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种蚀刻废液处理方法，所述蚀刻废液处理方法用于处理在使用氢氟酸的蚀刻处理中产生的蚀刻废液，所述蚀刻废液处理方法至少包括固化步骤，所述固化步骤通过对所述蚀刻废液添加氧化钙并使其反应，从而以无需另外进行排水处理的方式将全部容量的所述蚀刻废液中性污泥化。
2.一种蚀刻废液处理方法，所述蚀刻废液处理方法用于处理使用氢氟酸的蚀刻处理中产生的蚀刻废液，所述蚀刻废液处理方法至少包括以下步骤：
第一固化步骤，其通过对所述蚀刻废液添加含有碱土金属的氧化物、氢氧化物或碳酸盐的碱性固化剂并使其反应，从而一边缓和所述蚀刻废液的酸性度一边使其增稠至能够输送的程度；以及
第二固化步骤，其通过对通过第一固化步骤得到的增稠蚀刻废液进一步添加氧化钙并使其反应，从而以无需另外进行排水处理的方式将全部容量的增稠蚀刻废液中性污泥化。
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