[发明专利]树脂片、半导体装置及树脂片的使用方法在审

专利信息
申请号: 201880026660.3 申请日: 2018-08-06
公开(公告)号: CN110536796A 公开(公告)日: 2019-12-03
发明(设计)人: 根津裕介;渡边康贵;杉野贵志 申请(专利权)人: 琳得科株式会社
主分类号: B32B27/20 分类号: B32B27/20;B32B7/06;H05K3/46
代理公司: 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 代理人: 张晶;谢顺星<国际申请>=PCT/JP2
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种树脂片(1),其用于绝缘膜的形成,所述树脂片(1)具备第一支撑片(11)及固化性树脂组合物层(10),树脂组合物层(10)由含有热固性树脂及无机微粒的树脂组合物形成,所述无机微粒的含量为50质量%以上90质量%以下,第一支撑片(11)具备支撑基材(111)及粘着剂层(112),所述树脂组合物层层叠在第一支撑片(11)的粘着剂层(112)侧的面上。根据该树脂片(1),即便在树脂组合物层表面的粘性较小时,在树脂组合物层与支撑片的界面也不容易产生浮起,且即便在使用于在树脂组合物层的热固化后、将支撑片从所形成的固化层上剥离的半导体装置的制造方法时,也容易将支撑片从该固化层上剥离。
搜索关键词: 支撑片 树脂组合物层 树脂片 树脂组合物 无机微粒 粘着剂层 固化层 剥离 固化性树脂组合物 半导体装置 热固性树脂 支撑基材 绝缘膜 热固化 浮起 制造
【主权项】:
1.一种树脂片,其用于绝缘膜的形成,其特征在于,/n所述树脂片具备第一支撑片及层叠在所述第一支撑片的一个面上的固化性树脂组合物层,/n所述树脂组合物层由含有热固性树脂及无机微粒的树脂组合物形成,/n所述无机微粒在所述树脂组合物中的含量为50质量%以上、90质量%以下,/n所述第一支撑片具备支撑基材及层叠在所述支撑基材的一面侧的粘着剂层,/n所述树脂组合物层层叠在所述第一支撑片的所述粘着剂层侧的面上。/n
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