[发明专利]自动加工装置有效
| 申请号： | 201880020177.4 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN110494733B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 酉川翔太 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/32;G01N23/2202;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄志坚;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 通过对试样照射带电粒子束而从该试样制作试样片的自动加工装置具有：构造信息取得部，其取得表示加工前的试样的构造的构造信息；加工结束位置取得部，其取得指定与试样的构造对应的加工的结束位置的结束位置指定信息；图像取得部，其取得通过对在试样的被照射了带电粒子束的位置处出现的加工面进行拍摄而得到的加工面图像；以及判定部，其根据由构造信息取得部取得的构造信息与由图像取得部取得的加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了结束位置。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种自动加工装置，其通过对试样照射带电粒子束而从该试样制作试样片，其中，/n该自动加工装置具有：/n构造信息取得部，其取得表示加工前的试样的构造的构造信息；/n加工结束位置取得部，其取得指定与所述试样的构造对应的加工的结束位置的结束位置指定信息；/n图像取得部，其取得加工面图像，该加工面图像是通过对在所述试样的被照射了带电粒子束的位置处出现的加工面进行拍摄而得到的；以及/n判定部，其根据由所述构造信息取得部取得的所述构造信息与由所述图像取得部取得的所述加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。/n
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