[发明专利]自动加工装置

说明书

通过对试样照射带电粒子束而从该试样制作试样片的自动加工装置具有：构造信息取得部，其取得表示加工前的试样的构造的构造信息；加工结束位置取得部，其取得指定与试样的构造对应的加工的结束位置的结束位置指定信息；图像取得部，其取得通过对在试样的被照射了带电粒子束的位置处出现的加工面进行拍摄而得到的加工面图像；以及判定部，其根据由构造信息取得部取得的构造信息与由图像取得部取得的加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了结束位置。

技术领域

本发明涉及自动加工装置。

背景技术

以往，公知有如下的装置：将通过对试样照射由电子或离子构成的带电粒子束而制作出的试样片取出，并将试样片加工成适合由扫描电子显微镜和透射电子显微镜等进行观察、分析及计测等各种工序的形状(例如，参照专利文献1、2)。

例如在利用带电粒子束对存储器件等具有由相同构造物重复排列而成的构造的试样进行加工的情况下，例如有时留下任意构造物来制作TEM分析用试样(TEM试样)。在这样相对于细长的构造物的长边方向制作试样的情况或沿着成列的构造物的列制作试样的情况下，对带电粒子束的扫描方向进行校正以便能够相对于构造物或列水平地进行加工。这并不限于TEM试样制作，在制作截面的情况下也完全相同。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-170941号公报

专利文献2：日本特开2013-200987号公报

发明内容

发明要解决的课题

例如在留下任意一个构造物来制作TEM分析用试样(TEM试样)的情况下，带电粒子束装置的操作者对由带电粒子束进行了加工的截面进行适当观察，以仅留下一个期望的构造物的方式通过手动作业来进行加工。但是，由于近年来的最新器件更加微细化和复杂化，因此通过带电粒子束来制作分析用试样的难易度年年增高。因此，可应对的技术人员有限，如果是不熟练的技术人员进行处理，则不仅需要非常长的时间，而且弄错加工的结束位置而使分析对象消失的风险也变高。因此，在基于带电粒子束的试样制作中，存在简易化和省力化的课题。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供能够判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了结束位置的自动加工装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题而达成该目的，本发明采用了以下的方式。

(1)本发明的一个方式的自动加工装置通过对试样照射带电粒子束而从该试样制作试样片，其中，该自动加工装置具有：构造信息取得部，其取得表示加工前的试样的构造的构造信息；加工结束位置取得部，其取得指定与所述试样的构造对应的加工的结束位置的结束位置指定信息；图像取得部，其取得通过对在所述试样的被照射了带电粒子束的位置处出现的加工面进行拍摄而得到的加工面图像；以及判定部，其根据由所述构造信息取得部取得的所述构造信息与由所述图像取得部取得的所述加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。

(2)在上述(1)所述的自动加工装置中，所述构造信息是对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像，所述判定部根据对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像与所述加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。

(3)在上述(2)所述的自动加工装置中，所述试样具有重复构造，所述构造信息是对加工前的所述试样的所述重复构造进行拍摄而得到的图像，所述加工结束位置取得部取得表示所述重复构造的重复数的信息作为所述结束位置指定信息，所述判定部根据对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像所示的所述重复构造的重复数与所述加工面图像所示的所述重复构造的重复数的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。