[发明专利]自动加工装置

权利要求书

1.一种自动加工装置，其通过对具有同一构造重复出现的重复构造的试样照射带电粒子束而从该试样制作试样片，其中，

该自动加工装置具有：

构造信息取得部，其取得表示加工前的试样的构造的构造信息，该构造信息是对加工前的所述试样的所述重复构造进行拍摄而得到的图像；

加工结束位置取得部，其取得指定加工的结束位置的结束位置指定信息，该结束位置指定信息是表示所述试样的所述重复构造的重复数的信息；

图像取得部，其取得加工面图像，该加工面图像是通过对在所述试样的被照射了带电粒子束的位置处出现的加工面进行拍摄而得到的；以及

判定部，其根据由所述构造信息取得部取得的对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像所示的所述重复构造的重复数与由所述图像取得部取得的所述加工面图像所示的所述重复构造的重复数的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。

2.根据权利要求1所述的自动加工装置，其中，

所述判定部根据对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像所示的所述重复构造的重复数与所述加工面图像所示的所述重复构造的剩余数的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。

3.根据权利要求1所述的自动加工装置，其中，

所述判定部根据对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像所示的所述重复构造的重复数与在加工过程中在所述加工面图像依次出现的所述重复构造的变化数的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。