[发明专利]湿度传感器有效
| 申请号： | 201880019163.0 | 申请日： | 2018-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN110494744B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 中根健智 | 申请（专利权）人： | 三美电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种湿度传感器，其具有：下部电极，其形成于基板之上；第一感湿膜，其覆盖上述下部电极；上部电极，其形成于上述第一感湿膜之上且具有预定的开口图案；以及第二感湿膜，其覆盖上述上部电极，并且在上述上部电极的开口部与上述第一感湿膜连接，上述上部电极的面积比上述下部电极的面积大，且比上述第一感湿膜的面积小。 | ||
| 搜索关键词： | 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种湿度传感器，其特征在于，具有：/n下部电极，其形成于基板之上；/n第一感湿膜，其覆盖上述下部电极；/n上部电极，其形成于上述第一感湿膜之上，并具有预定的开口图案；以及/n第二感湿膜，其覆盖上述上部电极，并且在上述上部电极的开口部与上述第一感湿膜连接，/n上述上部电极的面积比上述下部电极的面积大，且比上述第一感湿膜的面积小。/n
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