[发明专利]湿度传感器

说明书

本发明提供一种湿度传感器，其具有：下部电极，其形成于基板之上；第一感湿膜，其覆盖上述下部电极；上部电极，其形成于上述第一感湿膜之上且具有预定的开口图案；以及第二感湿膜，其覆盖上述上部电极，并且在上述上部电极的开口部与上述第一感湿膜连接，上述上部电极的面积比上述下部电极的面积大，且比上述第一感湿膜的面积小。

技术领域

本发明涉及湿度传感器。

背景技术

湿度传感器、温度传感器、气体传感器、电容式触摸传感器等各种传感器在工业或面向个人的用途中被用于多种多样的产品。一般来说，若在传感器的表面附着水滴，则会影响传感器的动作，因此采取了针对结露、水滴的防御措施。

例如，对于在下部电极与上部电极之间夹有感湿膜的平行平板型的湿度传感器而言，已知用保护膜覆盖上部电极的结构(例如，参照专利文献1)。在该文献中，在保护膜和上部电极形成有使感湿膜露出于外界的开口部，在开口部，感湿膜至少设置至比保护膜的下表面的位置高的位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5547296号说明书

发明内容

发明所要解决的课题

对于在上部电极与下部电极之间夹有感湿膜的平行平板型的湿度传感器而言，如果在从上部电极的间隙漏出的电场附着有水滴，则电力线的状态变化，积存在上部电极与下部电极之间的电容值变化。因此，不能得到准确的湿度测量值。另外，附着在湿度传感器的表面的水滴中的盐类、杂质成分干燥后作为残差而残留，感湿膜的特性变化，不能得到稳定的传感器输出。

本发明鉴于上述的点而做成，其目的在于提供一种湿度传感器，能够抑制水滴对湿度传感器的影响，输出精度良好且稳定的测量值。

用于解决课题的方案

为了实现上述目的，本发明的一方案的湿度传感器10A、10B具有：下部电极13，其形成于基板11之上；第一感湿膜15，其覆盖上述下部电极13；上部电极17，其形成于上述第一感湿膜15之上且具有预定的开口图案；以及第二感湿膜19，其覆盖上述上部电极17，并且在上述上部电极17的开口部17a与上述第一感湿膜15连接，上述上部电极17的面积比上述下部电极13的面积大，且比上述第一感湿膜15的面积小。

此外，上述参照符号是为了便于理解而添加的，只是一个例子，不限于图示的方案。

发明效果

根据公开的湿度传感器，能够防止水滴对湿度传感器的影响，输出精度良好且稳定的测量值。

附图说明

图1是用于说明湿度传感器的检测原理的第一图。

图2是用于说明湿度传感器的检测原理的第二图。

图3是表示第一实施方式的湿度传感器的概略剖视图。

图4是表示第一实施方式的湿度传感器的电极图案的一例的图。

图5是表示第一实施方式的湿度传感器的电极图案的另一例的图。

图6A是用于说明第一实施方式的湿度传感器的制造方法的第一工序剖视图。

图6B是用于说明第一实施方式的湿度传感器的制造方法的第一工序剖视图。

图6C是用于说明第一实施方式的湿度传感器的制造方法的第一工序剖视图。

图6D是用于说明第一实施方式的湿度传感器的制造方法的第一工序剖视图。

图7A是用于说明第一实施方式的湿度传感器的制造方法的第二工序剖视图。