[发明专利]电子束蒸发器、涂布设备和涂布方法有效
| 申请号： | 201880012919.9 | 申请日： | 2018-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN110325662B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 埃克哈特·赖因霍尔德;约尔格·法贝尔 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王小衡;王朝辉 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据各种实施例，电子束蒸发器(100)可以包括以下部分：管状靶(102)；电子束枪(104)，用于借助于电子束(104e)在管状靶(102)的移除表面(102f)上生成至少一个蒸汽源(102q)；其中移除表面(102f)是管状靶(102)的环形轴向端面或成圆锥形地或以弯曲的方式从自由端边缘延伸的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 蒸发器 布设 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子束蒸发器(100)，包括：·管状靶(102)；·电子束枪(104)，所述电子束枪(104)用于借助于电子束(104e)在管状靶(102)的移除表面(102f)上生成至少一个蒸汽源(102q)；·其中所述移除表面(102f)是所述管状靶(102)的环形轴向端面或成圆锥形地或以弯曲的方式从自由端边缘延伸的表面。
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