[发明专利]电子束蒸发器、涂布设备和涂布方法有效
申请号: | 201880012919.9 | 申请日: | 2018-02-23 |
公开(公告)号: | CN110325662B | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 埃克哈特·赖因霍尔德;约尔格·法贝尔 | 申请(专利权)人: | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/54 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 王小衡;王朝辉 |
地址: | 德国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子束 蒸发器 布设 方法 | ||
1.一种电子束蒸发器(100),包括:
管状靶(102);
电子束枪(104),所述电子束枪(104)用于借助于电子束(104e)在管状靶(102)的移除表面(102f)上生成至少一个蒸汽源(102q);
其中所述移除表面(102f)是所述管状靶(102)的成圆锥形地或以弯曲的方式从自由端边缘延伸的表面;
膜片布置(408),所述膜片布置(408)部分地覆盖所述移除表面(102f),其中所述膜片布置(408)以这样的方式包括至少一个膜片开口(408o),即,所述电子束(104e)可以被引导通过所述膜片开口(408o)、到达所述管状靶(102)的移除表面(102f)上,以便产生至少一个被所述膜片开口(408o)暴露在所述管状靶(102)的管轴(102a)方向上的蒸汽源(102q)并将要被至少一个所述蒸汽源(102q)涂布的基板(320)与所述管状靶(102)的热区屏蔽开;
支撑布置(302),所述支撑布置(302)用于以所述管状靶(102)可以被围绕其管轴线(102a)旋转(302r)的这样的方式可旋转地安装所述管状靶(102),其中所述支撑布置(302、402)还被以所述管状靶(102)可以被沿着其管轴线(102a)移动(302a)的这样的方式构造;
其中,绕所述管轴线(102a)的旋转(302r)与沿所述管轴线(102a)的移动(302a)彼此独立。
2.根据权利要求1所述的电子束蒸发器,
其中所述管轴线(102a)和所述移除表面(102f)的表面法线(202n)之间的角度(207)在0°至75°的范围内。
3.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发器,进一步包括:
传感器(404),所述传感器(404)用于检测表示所述移除表面(102f)的空间位置的传感器数据;
致动设备(402),所述致动设备(402)用于沿着管状靶(102)的管轴线(102a)移动(302a)所述管状靶(102);以及
调节器(406),所述调节器(406)基于所述传感器数据,借助于所述致动设备(402)被构造为使所述移除表面(102f)的所述位置保持固定或者使所述移除表面(102f)相对于将被涂布的所述基板(320)的距离保持不变。
4.根据权利要求1所述的电子束蒸发器,其中所述膜片布置(408)还包括用于冷却所述膜片布置(408)的冷却结构。
5.根据权利要求1或4所述的电子束蒸发器,进一步包括:
距离传感器(404),所述距离传感器(404)用于检测表示所述管状靶(102)的移除表面(102f)和所述膜片布置(408)之间的距离的传感器数据;
致动设备(402),所述致动设备(402)用于在轴向方向上移动(302a)所述管状靶(102);以及
调节器(406),所述调节器(406)基于所述传感器数据,借助于所述致动设备(402)被构造为使所述移除表面(102f)和所述膜片布置(408)之间的距离保持不变。
6.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发器,进一步包括:
移除装置,所述移除装置被构造为使所述移除表面(102f)平面化。
7.一种涂布设备,包括:
涂布室(602),所述涂布室(602)具有至少一个涂布区域(602p);
至少一个根据权利要求1或2所述的电子束蒸发器(100),所述电子束蒸发器(100)用于在所述涂布区域(602p)中涂布基板(320)。
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