[发明专利]用于喷溅装置的基材支撑体有效
| 申请号： | 201880011700.7 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN110325663B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 欧阳煦;潘业光 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50;H01J37/34;H01L21/673;H01J37/32;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐鑫;项丹 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 喷溅装置和方法包括室、布置在室内的靶和布置在室内的基材支撑体，所述基材支撑体包括基本由非含铝且非磁性金属材料构成的至少一部分。基材支撑体可以包括载具和用于装纳基材的装置器。在一些实施方式中，至少载具的面朝靶的表面基本由非含铝且非磁性金属材料构成。在一些实施方式中，装置器基本由非含铝且非磁性金属材料构成。喷溅装置可以是鼓式喷溅装置。喷溅方法可以是磁控喷溅方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 喷溅 装置 基材 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种喷溅装置，其包括：室；布置在室内的靶；转鼓，所述转鼓包括布置在室内的鼓框架；和基材支撑体，所述基材支撑体包括连接到鼓框架的载具和用于装纳基材的装置器，所述装置器连接到载具的面朝靶的表面，其中，至少载具的面朝靶的表面基本由非含铝且非磁性金属材料构成。
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