[发明专利]用于喷溅装置的基材支撑体有效
申请号: | 201880011700.7 | 申请日: | 2018-02-07 |
公开(公告)号: | CN110325663B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 欧阳煦;潘业光 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/50;H01J37/34;H01L21/673;H01J37/32;H01L21/687 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 徐鑫;项丹 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 喷溅 装置 基材 支撑 | ||
1.一种喷溅装置,其包括:
室;
布置在室内的靶;
转鼓,所述转鼓包括布置在室内的鼓框架;和
基材支撑体,所述基材支撑体包括连接到鼓框架的载具和用于装纳基材的装置器,所述装置器连接到载具的面朝靶的表面,
其中,基材支撑体的所有组件由一种或多种非含铝且非磁性金属材料构成。
2.如权利要求1所述的喷溅装置,其中,载具还包括连接到载具的面朝靶的表面的夹具,用于将装置器夹到载具上,以及其中,夹具基本由非含铝且非磁性金属材料构成。
3.如权利要求1所述的喷溅装置,其中,至少载具的面朝靶的表面基本由不锈钢316构成。
4.如权利要求1所述的喷溅装置,其中,载具包括限定了载具的面朝靶的表面的板。
5.如权利要求4所述的喷溅装置,其中,板是中空板。
6. 如权利要求4所述的喷溅装置,其中,板基本由不含磁荷的不锈钢316构成。
7.如权利要求1所述的喷溅装置,其中,装置器还包括底板和连接到底板的顶板,用于在它们之间夹住基材,以及
其中,顶板和底板基本由非含铝且非磁性金属材料构成。
8.如权利要求1所述的喷溅装置,其中,装置器还包括真空板,所述真空板包括多个通孔和布置在真空板的顶表面的一部分上的双面粘合剂层,用于使其与基材粘附,以及
其中,真空板基本由非含铝且非磁性金属材料构成。
9.如权利要求1所述的喷溅装置,其还包括连接到载具的面朝靶的表面的多个装置器,至少一个装置器用于装纳至少一个基材,以及其中,载具包括一个或多个夹具用于将装置器夹到载具上。
10.如权利要求1所述的喷溅装置,其中,至少载具的面朝靶的表面基本由选自下组的材料构成:铜合金和钛合金。
11.如权利要求1-10中任一项所述的喷溅装置,其中,至少载具的面朝靶的表面基本由20°C时的热膨胀系数等于或小于21.6 ppm/ºC的材料构成。
12.如权利要求1-10中任一项所述的喷溅装置,其中,至少载具的面朝靶的表面基本由20°C时热膨胀系数等于或小于18 ppm/ºC的材料构成。
13.如权利要求1所述的喷溅装置,其中,载具重量是100千克或更轻。
14.如权利要求1所述的喷溅装置,其中,基材没有与载具直接接触。
15.一种喷溅方法,其包括:
将基材连接到基材支撑体,所述基材支撑体包括载具和用于装纳基材的装置器,所述装置器连接到载具的面朝靶的表面;
将载具连接到转鼓,所述转鼓包括鼓框架,所述鼓框架布置在喷溅装置的室内,所述室包括布置在室内的靶;以及
用涂层涂覆基材;
其中,基材支撑体的所有组件由一种或多种非含铝且非磁性金属材料构成。
16.如权利要求15所述的喷溅方法,其中,所述喷溅方法是鼓式喷溅方法。
17.如权利要求15所述的喷溅方法,其中,所述喷溅方法是磁控喷溅方法。
18.如权利要求15-17中任一项所述的喷溅方法,其中,所述非含铝且非磁性金属材料包括20°C时等于或小于18 ppm/ºC的热膨胀系数。
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