[发明专利]流量测定方法以及流量测定装置有效
| 申请号： | 201880009200.X | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN110234965B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 永濑正明;泽田洋平;西野功二;池田信一 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G01F1/00 | 分类号： | G01F1/00;G01F3/38;G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;刘春燕 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流量测定方法，其在气体供给系统中进行，所述气体供给系统具备：多个气体供给路径，其具备第一阀；以及共用气体供给路径，其形成于多个气体供给路径的下游侧且具备流量测定装置，所述流量测定装置具备压力传感器、温度传感器以及下游侧的第二阀，所述流量测定方法包括以下工序：第一工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭第二阀，经过规定时间后关闭任一个第一阀，测定关闭第一阀后的压力和温度；第二工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下同时关闭任一个第一阀和第二阀，测定关闭第一阀和第二阀后的压力和温度；第三工序，基于在第一工序中测定的压力和温度以及在第二工序中测定的压力和温度，来计算流量。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 测定 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种流量测定方法，其在气体供给系统中进行，所述气体供给系统具备：多个气体供给路径，所述多个气体供给路径具备流量控制装置及其下游侧的第一阀；以及共用气体供给路径，所述共用气体供给路径在所述多个气体供给路径的下游侧，由所述多个气体供给路径合流而形成，且具备流量测定装置，所述流量测定装置具有压力传感器、温度传感器及其下游侧的第二阀，所述流量测定方法的特征在于，包括以下工序：第一工序，打开任一个第一阀和所述第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭所述第二阀，在关闭所述第二阀后，经过规定时间后，关闭所述任一个第一阀，使用所述压力传感器和所述温度传感器对关闭所述第一阀后的压力和温度进行测定；第二工序，打开所述任一个第一阀和所述第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下同时关闭所述任一个第一阀和所述第二阀，使用所述压力传感器和所述温度传感器对关闭所述第一阀和所述第二阀后的压力和温度进行测定；以及第三工序，基于在所述第一工序中测定的压力和温度以及在所述第二工序中测定的压力和温度，来计算流量。
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