[发明专利]流量测定方法以及流量测定装置

权利要求书

1.一种流量测定方法，其在气体供给系统中进行，所述气体供给系统具备：

多个气体供给路径，所述多个气体供给路径具备流量控制装置及其下游侧的第一阀；以及

共用气体供给路径，所述共用气体供给路径在所述多个气体供给路径的下游侧，由所述多个气体供给路径合流而形成，且具备流量测定装置，所述流量测定装置具有压力传感器、温度传感器及其下游侧的第二阀，

所述流量测定方法的特征在于，包括以下工序：

第一工序，打开任一个第一阀和所述第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭所述第二阀，在关闭所述第二阀后，经过规定时间后，关闭所述任一个第一阀，使用所述压力传感器和所述温度传感器对关闭所述第一阀后的压力和温度进行测定；

第二工序，打开所述任一个第一阀和所述第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下同时关闭所述任一个第一阀和所述第二阀，使用所述压力传感器和所述温度传感器对关闭所述第一阀和所述第二阀后的压力和温度进行测定；以及

第三工序，基于在所述第一工序中测定的压力和温度以及在所述第二工序中测定的压力和温度，来计算流量。

2.根据权利要求1所述的流量测定方法，其特征在于，所述第三工序包括以下工序：

使用在所述第一工序中测定的压力P₁和温度T₁以及在所述第二工序中测定的压力P_c和温度T_c，按照Q＝22.4·Vs·(P₁/T₁-P_c/T_c)/(R·Δt)来计算流量Q，这里，Vs为增量容量，R为气体常数，Δt为在所述第一工序中从关闭所述第二阀开始到关闭所述第一阀为止的所述规定时间。

3.一种流量测定方法，其在气体供给系统中进行，所述气体供给系统具备：

多个气体供给路径，所述多个气体供给路径具备流量控制装置及其下游侧的第一阀；以及

共用气体供给路径，所述共用气体供给路径在所述多个气体供给路径的下游侧，由所述多个气体供给路径合流而形成，且具备流量测定装置，所述流量测定装置具有压力传感器、温度传感器及其下游侧的第二阀，

所述流量测定方法的特征在于，包括以下工序：

第一工序，打开任一个第一阀和所述第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭所述第二阀，在关闭所述第二阀后，在经过第一规定时间后，关闭所述任一个第一阀，使用所述压力传感器和所述温度传感器对关闭所述第一阀后的压力和温度进行测定；

第二工序，打开所述任一个第一阀和所述第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭所述第二阀，在关闭所述第二阀后，在经过比所述第一规定时间短的第二规定时间后关闭所述任一个第一阀，使用所述压力传感器和所述温度传感器对关闭所述第一阀后的压力和温度进行测定；以及

第三工序，基于在所述第一工序中测定的压力和温度以及在所述第二工序中测定的压力和温度，来计算流量。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的流量测定方法，其特征在于，

所述多个气体供给路径与第一气体供给管线或第二气体供给管线中的任一个连接，

所述第一气体供给管线和所述第二气体供给管线合流而与所述共用气体供给管线连接。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的流量测定方法，其特征在于，

所述多个气体供给路径中的至少一个气体供给路径具有与其他的气体供给路径不同的配管径。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的流量测定方法，其特征在于，

所述流量控制装置是包括控制阀、节流部、测定所述节流部的上游侧的压力的压力传感器的压力式流量控制装置。

7.一种流量测定装置，其在气体供给系统中与共用气体供给路径连接，所述气体供给系统具备：多个气体供给路径，所述多个气体供给路径具备流量控制装置及其下游侧的第一阀；以及共用气体供给路径，所述共用气体供给路径在所述多个气体供给路径的下游侧，由所述多个气体供给路径合流而形成，

所述流量测定装置的特征在于，具备：

压力传感器及温度传感器，所述压力传感器及温度传感器设置于所述共用气体供给路径；第二阀，所述第二阀设置于所述压力传感器和温度传感器的下游侧；以及运算控制装置，所述运算控制装置接收所述压力传感器和所述温度传感器的输出，

所述运算控制装置，

打开任一个第一阀和所述第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭所述第二阀，在关闭所述第二阀后，经过规定时间后，关闭所述任一个第一阀，将关闭所述第一阀后的压力和温度作为第一压力和第一温度从所述压力传感器和所述温度传感器接收，

打开所述任一个第一阀和所述第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下同时关闭所述任一个第一阀和所述第二阀，将关闭所述第一阀和所述第二阀后的压力和温度作为第二压力和第二温度从所述压力传感器和所述温度传感器接收，

并且基于所述第一压力、所述第一温度、所述第二压力以及所述第二温度，来计算流量。