[发明专利]流量测定方法以及流量测定装置

说明书

本发明提供一种流量测定方法，其在气体供给系统中进行，所述气体供给系统具备：多个气体供给路径，其具备第一阀；以及共用气体供给路径，其形成于多个气体供给路径的下游侧且具备流量测定装置，所述流量测定装置具备压力传感器、温度传感器以及下游侧的第二阀，所述流量测定方法包括以下工序：第一工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭第二阀，经过规定时间后关闭任一个第一阀，测定关闭第一阀后的压力和温度；第二工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下同时关闭任一个第一阀和第二阀，测定关闭第一阀和第二阀后的压力和温度；第三工序，基于在第一工序中测定的压力和温度以及在第二工序中测定的压力和温度，来计算流量。

技术领域

本发明涉及一种流量测定方法以及流量测定装置。

背景技术

设置于半导体制造装置等的气体供给系统一般构成为，经由针对各供给气体的每种设置的流量控制装置，将多种气体切换供给至处理腔室等气体使用对象。

另外，在流量控制装置的运用中，期望随时能够进行流量精度的确认或流量校正，有时使用增量法作为流量计测方法进行流量精度的确认或流量校正。

在增量法中，使气体流过设置在流量控制装置的下游的规定的基准容量(V)，通过测定此时的压力上升率(ΔP/Δt)和温度(T)，例如，能够根据Q＝22.4(ΔP/Δt)×V/RT(R为气体常数)通过运算求出流量Q。

专利文献1中记载了基于增量法的流量测定的一例。在专利文献1中记载的气体供给装置中，将从与各气体供给管线连接的流量控制装置的下游侧的开闭阀到设置于共用气体供给路径的开闭阀的流路用作基准容量(增量容量)，基于该流路中的压力上升率来测定流量。

另外，在专利文献2中公开了如下方法：在使用增量法的流量控制器的校正方法中，关闭下游侧的阀而进行增量后也关闭上游侧的阀，经过规定时间后，罐内的气体的温度降低之后，通过测定压力以及温度来计算流量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2006-337346号公报

专利文献2：日本专利特开2012-32983号公报

然而，本发明人发现，在现有的增量法中，存在由于气体供给路径的不同而不能进行高精度的测定的情况。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成，主要目的在于提供一种用于对多个气体供给路径高精度地进行流量测定的流量测定方法以及流量测定装置。

根据本发明的实施方式的流量测定方法，是在气体供给系统中进行的流量测定方法，所述气体供给系统具备：多个气体供给路径，所述气体供给路径具备流量控制装置及其下游侧的第一阀；以及共用气体供给路径，所述共用气体供给路径在所述多个气体供给路径的下游侧，由所述多个气体供给路径合流而形成，且具备流量测定装置，所述流量测定装置具有压力传感器、温度传感器及其下游侧的第二阀，所述流量测定方法包括以下工序：第一工序，打开任一个第一阀和所述第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭所述第二阀，关闭所述第二阀后，经过规定的时间后关闭所述任一个第一阀，使用所述压力传感器和所述温度传感器对关闭所述第一阀后的压力和温度进行测定；第二工序，打开所述任一个第一阀和所述第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下同时关闭所述任一个第一阀和所述第二阀，使用所述压力传感器和所述温度传感器对关闭所述第一阀和所述第二阀后的压力和温度进行测定；第三工序，基于在第一工序中测定的压力和温度以及在所述第二工序中测定的压力和温度来计算流量。