[发明专利]用于基板的自动光学检查的设备和方法在审
| 申请号： | 201880007193.X | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN110546297A | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 马蒂亚斯·赫曼尼斯;斯蒂芬·班格特;托马索·维尔切斯;塞巴斯蒂安·巩特尔·臧 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/54;C23C14/56;G03F9/00;H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静<国际申请>=PCT/EP2 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种用于基板的光学检查的系统。此系统包括至少第一处理腔室及第二处理腔室。此系统包括至少传送腔室，用以从第一处理腔室接收基板及用以传送所述基板至第二处理腔室。传送腔室设置有检查装置，检查装置用以对在第一处理腔室中处理的基板执行光学检查。 | ||
| 搜索关键词： | 处理腔室 基板 传送腔室 光学检查 检查装置 此系统 接收基板 传送 | ||
【主权项】：
1.一种用于在至少第一处理腔室及第二处理腔室中处理的基板的光学检查的设备，所述设备包括：/n检查装置，用于在所述第一处理腔室与所述第二处理腔室之间对在所述第一处理腔室中处理的所述基板执行光学检查。/n
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