[发明专利]包括微裂纹及激光冲孔的电磁波透射性传感器盖的制造方法及利用其制造的电磁波透射性传感器盖有效

专利信息
申请号: 201880001266.4 申请日: 2018-03-28
公开(公告)号: CN109196138B 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 金炳三;安钟俊;千在庚 申请(专利权)人: 金炳三
主分类号: C23C14/58 分类号: C23C14/58;C23C14/20;C23C14/18;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/06;C23C16/56;C23C16/06
代理公司: 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 代理人: 魏彦
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及电磁波透射性传感器盖的制造方法及利用其制造的电磁波透射性传感器盖,提供一种电磁波透射性层叠体,上述电磁波透射性层叠体包括:基板;底涂层,位于上述基板的上部面,包括聚合物树脂;金属层,位于上述底涂层的上部面,由金属构成;多个微裂纹,形成于上述金属层来使电磁波透射;以及孔图案,由垂直贯通上述金属层的多个孔构成来使电磁波透射。
搜索关键词: 包括 裂纹 激光 冲孔 电磁波 透射 传感器 制造 方法 利用
【主权项】:
1.一种包括微裂纹及激光冲孔的电磁波透射性传感器盖的制造方法,其特征在于,包括:步骤a,准备透明材质的基板;步骤b,利用包含聚合物树脂的混合物并通过涂装、浸渍或喷射中的一种方法形成底涂层,使其位于上述基板的上部面;以及步骤c,通过物理气相蒸镀或化学气相蒸镀形成岛状结构的金属层,使其位于上述底涂层的上部面,在上述步骤c中形成的上述金属层在第一温度中蒸镀于上述底涂层上而形成,在蒸镀形成上述金属层之后,对形成有上述金属层及上述底涂层的上述基板以相对低于上述第一温度的第二温度进行热处理,通过上述基板与上述金属层之间的热应力差异在上述金属层形成微裂纹,以与形成有上述微裂纹的上述金属层的厚度相对应的方式形成包括进行激光冲孔而垂直贯通的多个孔的孔图案来去除上述金属层的柱状晶体之间的结合,通过激光冲孔形成上述孔图案的多个孔以具有预定的孔直径及孔之间的间隔的方式规则地排列而形成,从而在76GHz至77GHz的电磁波波长区域内具有相对大于‑1.8dB的电磁波衰减率及高电磁波透射性。
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