[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201822279342.8 | 申请日： | 2018-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN209897224U | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 孟珍奎;刘政谚 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技(新加坡)有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08 |
| 代理公司： | 44298 广东广和律师事务所 | 代理人： | 陈巍巍 |
| 地址： | 新加坡卡文迪*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且设置在所述背板上下两侧的第一振膜和第二振膜，所述MEMS麦克风包括隔离所述基底、所述背板、所述第一振膜、所述第二振膜的绝缘层；所述第一振膜与所述第二振膜之间形成密封空间，且所述密封空间内的压强等于外界压强，有效避免了环境压力对振膜的影响，提高了器件的可靠性和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 振膜 背板 基底 电容系统 密封空间 绝缘层 压强 本实用新型 环境压力 上下两侧 外界压强 灵敏度 背腔 隔离 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且设置在所述背板上下两侧的第一振膜和第二振膜，所述MEMS麦克风包括隔离所述基底、所述背板、所述第一振膜、所述第二振膜的绝缘层；其特征在于，所述第一振膜与所述第二振膜之间形成密封空间，且所述密封空间内的压强等于外界压强。/n
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