[实用新型]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且设置在所述背板上下两侧的第一振膜和第二振膜，所述MEMS麦克风包括隔离所述基底、所述背板、所述第一振膜、所述第二振膜的绝缘层；其特征在于，所述第一振膜与所述第二振膜之间形成密封空间，且所述密封空间内的压强等于外界压强。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背板包括中间主体区域、位于所述中间主体区域一侧的第一边缘区域和位于所述中间主体另一侧的第二边缘区域，多个声学通孔间隔设置在所述中间主体区域，多个支撑件贯穿所述声学通孔连接第一振膜和第二振膜。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括设置所述振膜的几何中心且贯穿所述支撑件的贯通孔。

4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括位于所述第一边缘区域且贯穿所述背板的第一释放阻挡结构，所述第一释放阻挡结构隔离所述声学通孔与所述绝缘层；所述MEMS麦克风包括位于所述第二边缘区域且间隔设置在所述背板上的多个第二释放阻挡结构，所述多个第二释放阻挡结构隔离所述声学通孔与所述绝缘层。

5.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，包括贯穿所述第二振膜并设置在所述第二边缘区域的释放孔，所述释放孔内填充有电介质材料。

6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述释放孔与所述声学通孔至少间隔2个第二释放阻挡结构。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括对应于所述第一振膜、第二振膜、背板的引出电极。

8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括钝化保护层，隔离所述第一振膜、第二振膜、背板的引出电极。

9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背板的上、下表面设有若干凸起，所述凸起用于防止所述第一振膜、所述第二振膜与所述背板发生粘附。