[实用新型]压电式MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201822279227.0 | 申请日： | 2018-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN209659620U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 段炼;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 11444 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王刚;龚敏<国际申请>=<国际公布>=< |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种压电式MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的压电振膜，所述压电振膜被分割成多个相互独立的膜片，每一所述膜片包括与所述基底连接的固定端和与所述固定端连接并悬置于所述背腔上方的自由端，所述自由端包括沿分割线形成的两侧边，同一所述膜片的两侧边相交，相邻两个所述膜片的侧边相接触或间隔设置，所述压电式EMES麦克风还包括用于连接相邻两个所述膜片的侧边的卡扣结构，且至少两个所述膜片的侧边通过一个或多个所述卡扣结构相连。与相关技术相比，本实用新型提供的压电式MEMS麦克风通过设置卡扣结构将膜片的自由端限制在同一平面内，提升了产品性能的均匀性，抗跌落性能更好。 | ||
| 搜索关键词： | 膜片 压电式 自由端 侧边 本实用新型 卡扣结构 固定端 背腔 基底 压电 振膜 抗跌落性能 产品性能 基底连接 间隔设置 麦克风 均匀性 扣结构 线形成 分割 相交 | ||
【主权项】：
1.一种压电式MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的压电振膜，所述压电振膜被分割成多个相互独立的膜片，每一所述膜片包括与所述基底连接的固定端和与所述固定端连接并悬置于所述背腔上方的自由端，所述自由端包括沿分割线形成的两侧边，同一所述膜片的两侧边相交，相邻两个所述膜片的侧边相接触或间隔设置，其特征在于，所述压电式EMES麦克风还包括用于连接相邻两个所述膜片的侧边的卡扣结构，且至少两个所述膜片的侧边通过一个或多个所述卡扣结构相连。/n
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