[实用新型]压电式MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201822279227.0 | 申请日： | 2018-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN209659620U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 段炼;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 11444 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王刚;龚敏<国际申请>=<国际公布>=< |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 膜片 压电式 自由端 侧边 本实用新型 卡扣结构 固定端 背腔 基底 压电 振膜 抗跌落性能 产品性能 基底连接 间隔设置 麦克风 均匀性 扣结构 线形成 分割 相交 | ||
1.一种压电式MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的压电振膜，所述压电振膜被分割成多个相互独立的膜片，每一所述膜片包括与所述基底连接的固定端和与所述固定端连接并悬置于所述背腔上方的自由端，所述自由端包括沿分割线形成的两侧边，同一所述膜片的两侧边相交，相邻两个所述膜片的侧边相接触或间隔设置，其特征在于，所述压电式EMES麦克风还包括用于连接相邻两个所述膜片的侧边的卡扣结构，且至少两个所述膜片的侧边通过一个或多个所述卡扣结构相连。
2.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述卡扣结构包括卡接件和与所述卡接件配合的卡接孔，所述卡接件和所述卡接孔交替设置于所述膜片的侧边，连接时，所述膜片的卡接件嵌设于与其相邻所述膜片的卡接孔内。
3.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述卡扣结构包括卡接件和与所述卡接件配合的卡接孔，每一所述膜片的其中一侧边设置有所述卡接件，另一侧边设置有所述卡接孔，连接时，所述膜片的卡接件嵌设于与其相邻所述膜片的卡接孔内。
4.根据权利要求2或3所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述卡接件为平直板状，其形状与所述卡接孔的形状相同。
5.根据权利要求4所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述卡接件包括与所述侧边相连的第一端和自所述第一端向远离所述侧边方向延伸的第二端，所述第一端的尺寸小于所述第二端最宽处的尺寸；相应地，自所述侧边向内凹陷形成一端开口、另一端封闭的所述卡接孔，所述卡接孔开口处的尺寸小于所述卡接孔最宽处的尺寸。
6.根据权利要求5所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述卡接件和所述卡接孔呈梯形、圆形或T字型。
7.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，相邻两个膜片的侧边均通过一个或多个所述卡扣结构相连。
8.根据权利要求2或3所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，每一所述膜片的侧边设置有多个所述卡接件和/或所述卡接孔，多个所述卡接件和/或多个所述卡接孔均匀排布。
9.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述压电振膜呈圆形，所述压电振膜沿其对称轴分割成大小和形状均相同的多个所述膜片。
10.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述压电振膜呈正多边形，所述压电振膜沿其对角线分割成大小和形状均相同的多个所述膜片。
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