[实用新型]压电式MEMS麦克风

说明书

本实用新型提供了一种压电式MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的压电振膜，所述压电振膜被分割成多个相互独立的膜片，每一所述膜片包括与所述基底连接的固定端和与所述固定端连接并悬置于所述背腔上方的自由端，所述自由端包括沿分割线形成的两侧边，同一所述膜片的两侧边相交，相邻两个所述膜片的侧边相接触或间隔设置，所述压电式EMES麦克风还包括用于连接相邻两个所述膜片的侧边的卡扣结构，且至少两个所述膜片的侧边通过一个或多个所述卡扣结构相连。与相关技术相比，本实用新型提供的压电式MEMS麦克风通过设置卡扣结构将膜片的自由端限制在同一平面内，提升了产品性能的均匀性，抗跌落性能更好。

【技术领域】

本实用新型涉及声电技术领域，尤其涉及一种压电式MEMS麦克风。

【背景技术】

近年来，越来越多的移动设备开始使用微电机系统麦克风(Micro ElectroMechanical System，MEMS)代替原来的驻极体麦克风。由于移动设备的使用环境多变，这对MEMS麦克风的可靠性提出了更高的要求。

目前，MEMS麦克风主要分为电容式MEMS麦克风和压电式MEMS麦克风。压电式MEMS麦克风能够克服一些传统的电容式MEMS麦克风的缺点，在防尘和防水等方面有着较好的表现，有着更加广泛的应用领域。不同于电容式麦克风的振膜结构，如图1所示，压电式MEMS麦克风的振膜通常被分割为多个膜片21，每个膜片21一端与基底1相连，另一端采用了悬臂梁结构来避免工艺中的残余应力对声学性能的影响。但是，在残余应力的作用下，膜片21的自由端会发生形变，而且由于整个振膜2在加工工艺过程中的应力分布不均，造成不同压力传感器芯片的膜片21形变各有不一，这一悬臂梁结构上的差异进一步影响了麦克风的性能表现，导致麦克风的灵敏度、抗跌落性能等差异较大，不能满足实际的要求。

如图2所示，不同的膜片21由于残余应力不同，所出现的形变也略有不同，膜片21之间的间隙也会发生变化，这一差异会进一步造成不同压力传感芯片的声阻不同，进而影响不同的压电式MEMS麦克风的性能差异。

因此，有必要对振膜的悬臂梁结构进行改进，减小加工造成的形变带来的性能差异。

【实用新型内容】

针对相关技术中压电式MEMS麦克风振膜的自由端由于加工工艺过程中的应力分布不均导致形变不一，进而影响麦克风灵敏度和抗跌落性能的技术问题，本实用新型提供了一种新型结构的压电式MEMS麦克风。

一种压电式MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的压电振膜，所述压电振膜被分割成多个相互独立的膜片，每一所述膜片包括与所述基底连接的固定端和与所述固定端连接并悬置于所述背腔上方的自由端，所述自由端包括沿分割线形成的两侧边，同一所述膜片的两侧边相交，相邻两个所述膜片的侧边相接触或间隔设置，所述压电式EMES麦克风还包括用于连接相邻两个所述膜片的侧边的卡扣结构，且至少两个所述膜片的侧边通过一个或多个所述卡扣结构相连。

优选的，所述卡扣结构包括卡接件和与所述卡接件配合的卡接孔，所述卡接件和所述卡接孔交替设置于所述膜片的侧边，连接时，所述膜片的卡接件嵌设于与其相邻所述膜片的卡接孔内。

优选的，所述卡扣结构包括卡接件和与所述卡接件配合的卡接孔，每一所述膜片的其中一侧边设置有所述卡接件，另一侧边设置有所述卡接孔，连接时，所述膜片的卡接件嵌设于与其相邻所述膜片的卡接孔内。

优选的，所述卡接件为平直板状，其形状与所述卡接孔的形状相同。

优选的，所述卡接件包括与所述侧边相连的第一端和自所述第一端向远离所述侧边方向延伸的第二端，所述第一端的尺寸小于所述第二端最宽处的尺寸；相应地，自所述侧边向内凹陷形成一端开口、另一端封闭的所述卡接孔，所述卡接孔开口处的尺寸小于所述卡接孔最宽处的尺寸。

优选的，所述卡接件和所述卡接孔呈梯形、圆形或T字型。