[实用新型]一种易剥离的研磨垫有效
| 申请号： | 201822240567.2 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN209665091U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 戴文俊 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 31275 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 吴世华;马盼<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种易剥离的研磨垫，所述研磨垫包括缺口、沟槽Ⅰ、沟槽Ⅱ和背胶，所述背胶位于所述研磨垫的背部，用于将研磨垫粘贴在抛光机上，所述缺口、沟槽Ⅰ和沟槽Ⅱ位于所述研磨垫的正面，其中，所述沟槽Ⅰ包括M个环状沟槽，且环状沟槽的圆心与研磨垫的中心重合；所述沟槽Ⅱ为螺旋状沟槽，且所述螺旋状沟槽的一端连接所述缺口，另一端连接直径最小的环状沟槽；所述缺口位于所述研磨垫的边缘位置。本实用新型提供的一种易剥离的研磨垫，能够在更换研磨垫的过程中，沿着螺旋状沟槽快速撕掉，通过缩短维护保养时间提高维护保养效率来提高CMP的有效运行时间，从而提高产能，降低作业人员压力。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨垫 螺旋状沟槽 环状沟槽 本实用新型 维护保养 一端连接 易剥离 背胶 边缘位置 有效运行 中心重合 圆心 抛光机 产能 撕掉 粘贴 | ||
【主权项】：
1.一种易剥离的研磨垫，其特征在于，所述研磨垫包括缺口、沟槽Ⅰ、沟槽Ⅱ和背胶，所述背胶位于所述研磨垫的背部，用于将研磨垫粘贴在抛光机上，所述缺口、沟槽Ⅰ和沟槽Ⅱ位于所述研磨垫的正面，/n其中，所述沟槽Ⅰ包括M个环状沟槽，且环状沟槽的圆心与研磨垫的中心重合；所述沟槽Ⅱ为螺旋状沟槽，且所述螺旋状沟槽的一端连接所述缺口，另一端连接直径最小的环状沟槽；所述缺口位于所述研磨垫的边缘位置。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海集成电路研发中心有限公司，未经上海集成电路研发中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201822240567.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种平面研磨机
- 下一篇：一种浮法TFT-LCD玻璃面研磨剥片装置
