[实用新型]减少薄膜晶格缺陷的装置有效

专利信息
申请号: 201822208580.X 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN209328933U 公开(公告)日: 2019-08-30
发明(设计)人: 范继良 申请(专利权)人: 黄剑鸣
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 张艳美;王志
地址: 中国香港新界大埔*** 国省代码: 中国香港;81
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摘要: 实用新型公开一种减少薄膜晶格缺陷的装置,其包括机架、脉冲式激光发射器、X轴移动平台、Y轴移动平台、反射镜及物镜,X、Y轴移动平台呈水平的滑动设置于机架上,X轴移动平台可沿X轴方向进行直线往复运动,Y轴移动平台可沿Y轴方向进行直线往复运动,反射镜及物镜连接于Y轴移动平台上,脉冲式激光发射器沿Y轴方向正对反射镜设置,物镜位于反射镜的正下方,物镜位于X轴移动平台的上方;借由X、Y轴移动平台的直线往复运动,将使得硅片逐一的被聚焦后的脉冲激光照射扫描,使硅片上沉积的薄膜原子或者分子获得能动,使界面中更多的悬挂键被消除,从而减小薄膜的表面缺陷,使得电池的转换效率得到显著提升。
搜索关键词: 物镜 直线往复运动 反射镜 脉冲式激光 发射器 薄膜晶格 硅片 脉冲激光照射 本实用新型 反射镜设置 薄膜原子 表面缺陷 滑动设置 转换效率 悬挂键 减小 正对 沉积 薄膜 聚焦 扫描 电池
【主权项】:
1.一种减少薄膜晶格缺陷的装置,其特征在于,包括机架、脉冲式激光发射器、X轴移动平台、Y轴移动平台、反射镜及物镜,所述脉冲式激光发射器设置于所述机架上,X轴移动平台呈水平的滑动设置于所述机架上,所述X轴移动平台借由一第一直线往复驱动机构驱动其可沿X轴方向进行直线往复运动,所述Y轴移动平台呈水平的滑动设置于所述机架上,所述Y轴移动平台借由一第二直线往复驱动机构驱动其可沿Y轴方向进行直线往复运动,所述X轴移动平台位于所述Y轴移动平台下方,所述X轴方向与所述Y轴方向相互垂直,所述反射镜及所述物镜连接于所述Y轴移动平台上,所述脉冲式激光发射器沿Y轴方向正对所述反射镜设置且二者位于同一水平面,所述物镜位于所述反射镜的正下方,所述物镜位于所述X轴移动平台的上方,所述脉冲式激光发射器发射出的脉冲激光经所述反射镜反射后射入所述物镜中,射入所述物镜的脉冲激光从所述物镜中折射后进行聚焦。
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