[实用新型]减少薄膜晶格缺陷的装置

权利要求书

1.一种减少薄膜晶格缺陷的装置，其特征在于，包括机架、脉冲式激光发射器、X轴移动平台、Y轴移动平台、反射镜及物镜，所述脉冲式激光发射器设置于所述机架上，X轴移动平台呈水平的滑动设置于所述机架上，所述X轴移动平台借由一第一直线往复驱动机构驱动其可沿X轴方向进行直线往复运动，所述Y轴移动平台呈水平的滑动设置于所述机架上，所述Y轴移动平台借由一第二直线往复驱动机构驱动其可沿Y轴方向进行直线往复运动，所述X轴移动平台位于所述Y轴移动平台下方，所述X轴方向与所述Y轴方向相互垂直，所述反射镜及所述物镜连接于所述Y轴移动平台上，所述脉冲式激光发射器沿Y轴方向正对所述反射镜设置且二者位于同一水平面，所述物镜位于所述反射镜的正下方，所述物镜位于所述X轴移动平台的上方，所述脉冲式激光发射器发射出的脉冲激光经所述反射镜反射后射入所述物镜中，射入所述物镜的脉冲激光从所述物镜中折射后进行聚焦。

2.如权利要求1所述减少薄膜晶格缺陷的装置，其特征在于，还包括X轴导轨，所述X轴导轨沿所述X轴方向设置于所述机架上，所述X轴移动平台呈滑动的设置于所述X轴导轨上。

3.如权利要求1所述减少薄膜晶格缺陷的装置，其特征在于，还包括Y轴导轨，所述Y轴导轨沿所述Y轴方向设置于所述机架上，所述Y轴移动平台呈滑动的设置于所述Y轴导轨上。