[实用新型]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 201822198750.0 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209798080U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 张硕;潘晓磊 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀设备，该蒸镀设备包括：蒸镀腔室和至少一对位置检测装置，蒸镀腔室包括收容腔，收容腔为真空设置，收容腔为用于将金属物蒸镀至待加工工件上的腔室，每对位置检测装置分别嵌设于蒸镀腔室相对设置的第一侧壁和第二侧壁上，且位于待加工工件的两相对侧，用于检测待加工工件，每一位置检测装置与收容腔之间设置有聚光器，蒸镀设备还包括封闭装置，封闭装置用于封闭收容腔。本实施例中，在清洗或者更换聚光器时，可以通过封闭装置封闭收容腔，从而无须对蒸镀设备进行降温、洗气和破真空等操作，进而简化了对聚光器进行洗气或者更换的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 收容腔 蒸镀设备 位置检测装置 待加工工件 封闭装置 蒸镀腔室 聚光器 洗气 本实用新型 第二侧壁 第一侧壁 相对设置 金属物 破真空 封闭 嵌设 腔室 蒸镀 清洗 检测 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸镀腔室和至少一对位置检测装置，所述蒸镀腔室包括收容腔，所述收容腔为真空设置，所述收容腔为用于将金属物蒸镀至待加工工件上的腔室，每对所述位置检测装置分别嵌设于所述蒸镀腔室相对设置的第一侧壁和第二侧壁上，且位于所述待加工工件的两相对侧，用于检测所述待加工工件，每一所述位置检测装置与所述收容腔之间设置有聚光器，所述蒸镀设备还包括封闭装置，所述封闭装置用于封闭所述收容腔。/n
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