[实用新型]一种蒸镀设备

说明书

本实用新型提供一种蒸镀设备，该蒸镀设备包括：蒸镀腔室和至少一对位置检测装置，蒸镀腔室包括收容腔，收容腔为真空设置，收容腔为用于将金属物蒸镀至待加工工件上的腔室，每对位置检测装置分别嵌设于蒸镀腔室相对设置的第一侧壁和第二侧壁上，且位于待加工工件的两相对侧，用于检测待加工工件，每一位置检测装置与收容腔之间设置有聚光器，蒸镀设备还包括封闭装置，封闭装置用于封闭收容腔。本实施例中，在清洗或者更换聚光器时，可以通过封闭装置封闭收容腔，从而无须对蒸镀设备进行降温、洗气和破真空等操作，进而简化了对聚光器进行洗气或者更换的步骤。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备。

背景技术

在生产过程中，为了生产出的工件的表面更加美观，以及防腐蚀能力更强，通常将待加工工件放置于蒸镀设备中，通过蒸镀设备将金属物蒸镀，并在待加工工件的表面形成一层金属镀膜。但是由于在蒸镀的过程中，聚光器上也易形成金属镀膜，从而需要经常对聚光器进行清洗或者更换，但是由于蒸镀设备中通常为真空环境，在对聚光器进行清洗或者更换时，需要对蒸镀设备进行降温、洗气和破真空操作，在完成聚光器的清洗或者更换之后，又需要对蒸镀设备进行升温和工艺参数调整等操作，可见，当前蒸镀设备中，对聚光器进行洗气或者更换的步骤较为复杂。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种蒸镀设备，以解决当前蒸镀设备中，对聚光器进行洗气或者更换的步骤较为复杂的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

本实用新型实施例提供了一种蒸镀设备，包括：蒸镀腔室和至少一对位置检测装置，所述蒸镀腔室包括收容腔，所述收容腔为真空设置，所述收容腔为用于将金属物蒸镀至待加工工件上的腔室，每对所述位置检测装置分别嵌设于所述蒸镀腔室相对设置的第一侧壁和第二侧壁上，且位于所述待加工工件的两相对侧，用于检测所述待加工工件，每一所述位置检测装置与所述收容腔之间设置有聚光器，所述蒸镀设备还包括封闭装置，所述封闭装置用于封闭所述收容腔。

可选的，所述第一侧壁上包括第一通孔，所述第二侧壁上包括第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔内均依次设有所述一对位置检测装置中的一个位置检测装置、所述聚光器和所述封闭装置，所述封闭装置用于封闭所述第一通孔或所述第二通孔。

可选的，所述封闭装置为插板阀。

可选的，所述聚光器为清晰度大于预设数值的钢化玻璃。

可选的，所述第一通孔和所述第二通孔内均设有光学放大器，且分别在所述第一通孔和所述第二通孔内，所述光学放大器位于所述位置检测装置和所述聚光器之间。

可选的，所述位置检测装置为光纤传感器。

可选的，所述位置检测装置为光电传感器。

可选的，所述收容腔包括第一子腔室、第二子腔室以及位于所述第一子腔室和所述第二子腔室之间的至少一个第三子腔室，所述位置检测装置设置于所述第三子腔室对应的侧壁上。

可选的，所述蒸镀设备还包括抽真空装置，所述抽真空装置与所述收容腔连通。

可选的，所述抽真空装置为真空泵。

本实用新型实施例中提供的蒸镀设备包括：蒸镀腔室和至少一对位置检测装置，蒸镀腔室包括收容腔，收容腔为真空设置，收容腔为用于将金属物蒸镀至待加工工件上的腔室，每对位置检测装置分别嵌设于蒸镀腔室相对设置的第一侧壁和第二侧壁上，且位于待加工工件的两相对侧，用于检测待加工工件，每一位置检测装置与收容腔之间设置有聚光器，所述蒸镀设备还包括封闭装置，所述封闭装置用于封闭所述收容腔。这样，在清洗或者更换聚光器时，可以通过封闭装置封闭收容腔，从而无须对蒸镀设备进行降温、洗气和破真空等操作，进而简化了对聚光器进行洗气或者更换的步骤。

附图说明