[实用新型]一种蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸镀腔室和至少一对位置检测装置，所述蒸镀腔室包括收容腔，所述收容腔为真空设置，所述收容腔为用于将金属物蒸镀至待加工工件上的腔室，每对所述位置检测装置分别嵌设于所述蒸镀腔室相对设置的第一侧壁和第二侧壁上，且位于所述待加工工件的两相对侧，用于检测所述待加工工件，每一所述位置检测装置与所述收容腔之间设置有聚光器，所述蒸镀设备还包括封闭装置，所述封闭装置用于封闭所述收容腔。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一侧壁上包括第一通孔，所述第二侧壁上包括第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔内均依次设有所述一对位置检测装置中的一个位置检测装置、所述聚光器和所述封闭装置，所述封闭装置用于封闭所述第一通孔或所述第二通孔。

3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述封闭装置为插板阀。

4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述聚光器为清晰度大于预设数值的钢化玻璃。

5.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一通孔和所述第二通孔内均设有光学放大器，且分别在所述第一通孔和所述第二通孔内，所述光学放大器位于所述位置检测装置和所述聚光器之间。

6.根据权利要求1-5任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述位置检测装置为光纤传感器。

7.根据权利要求1-5任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述位置检测装置为光电传感器。

8.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述收容腔包括第一子腔室、第二子腔室以及位于所述第一子腔室和所述第二子腔室之间的至少一个第三子腔室，所述位置检测装置设置于所述第三子腔室对应的侧壁上。

9.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括抽真空装置，所述抽真空装置与所述收容腔连通。

10.根据权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于，所述抽真空装置为真空泵。