[实用新型]提高下料速度的溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201822184311.4 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209602631U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 傅志坚;苏良民 | 申请（专利权）人： | 青岛华磊真空镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266211 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高下料速度的溅射镀膜设备，属于溅射镀膜领域，其包括半圆柱状的主壳体和转动连接于主壳体一侧的半圆柱状的辅壳体，辅壳体能够扣合与主壳体上形成圆柱形的密封壳体，在主壳体内固定连接有中心立柱，在中心立柱上转动连接有底盘，在底盘上转动连接有多根连接杆，每根连接杆均开设有多个容纳槽，在每个容纳槽内均固定连接有电磁铁；每根连接杆上均套设有多个具有铁磁性的套环，在每个套换上均固定连接有至少一根挂件杆，每个挂件杆均转动连接有档杆，挂件杆固定连接有扭簧，扭簧另一端固定连接于档杆上，扭簧自然状态下档杆朝向主壳体顶端，本实用新型具有方便工作人员下料，提高下料效率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 转动连接 下料 根连接 挂件杆 主壳体 扭簧 溅射镀膜设备 本实用新型 半圆柱状 中心立柱 辅壳体 容纳槽 底盘 档杆 电磁铁 主壳体顶端 溅射镀膜 密封壳体 自然状态 铁磁性 套环 下档 主壳 体内 | ||
【主权项】：
1.一种提高下料速度的溅射镀膜设备，包括半圆柱状的主壳体(11)和转动连接于主壳体(11)一侧的半圆柱状的辅壳体(12)，辅壳体(12)能够扣合与主壳体(11)上形成圆柱形的密封壳体(1)，其特征在于：在主壳体(11)上固定连接有抽真空设备(111)，在主壳体(11)内固定连接有中心立柱(112)，在中心立柱(112)上转动连接有底盘(23)，在底盘(23)上转动连接有多根连接杆(2)，每根连接杆(2)均平行于中心立柱(112)设置，每根连接杆(2)均开设有多个容纳槽(22)，在每个容纳槽(22)内均固定连接有电磁铁(221)；每根连接杆(2)上均套设有多个具有铁磁性的套环(21)，在每个套换上均固定连接有至少一根挂件杆(211)，每个挂件杆(211)均垂直于连接杆(2)，在每个挂件杆(211)远离连接杆(2)一端均转动连接有档杆(212)，在挂件杆(211)靠近档杆(212)一端固定连接有扭簧(2113)，扭簧(2113)另一端固定连接于档杆(212)上，扭簧(2113)自然状态下档杆(212)朝向主壳体(11)顶端。
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