[实用新型]提高下料速度的溅射镀膜设备

权利要求书

1.一种提高下料速度的溅射镀膜设备，包括半圆柱状的主壳体(11)和转动连接于主壳体(11)一侧的半圆柱状的辅壳体(12)，辅壳体(12)能够扣合与主壳体(11)上形成圆柱形的密封壳体(1)，其特征在于：在主壳体(11)上固定连接有抽真空设备(111)，在主壳体(11)内固定连接有中心立柱(112)，在中心立柱(112)上转动连接有底盘(23)，在底盘(23)上转动连接有多根连接杆(2)，每根连接杆(2)均平行于中心立柱(112)设置，每根连接杆(2)均开设有多个容纳槽(22)，在每个容纳槽(22)内均固定连接有电磁铁(221)；

每根连接杆(2)上均套设有多个具有铁磁性的套环(21)，在每个套换上均固定连接有至少一根挂件杆(211)，每个挂件杆(211)均垂直于连接杆(2)，在每个挂件杆(211)远离连接杆(2)一端均转动连接有档杆(212)，在挂件杆(211)靠近档杆(212)一端固定连接有扭簧(2113)，扭簧(2113)另一端固定连接于档杆(212)上，扭簧(2113)自然状态下档杆(212)朝向主壳体(11)顶端。

2.根据权利要求1所述的提高下料速度的溅射镀膜设备，其特征在于：档杆(212)向远离挂件杆(211)方向向上倾斜设置。

3.根据权利要求2所述的提高下料速度的溅射镀膜设备，其特征在于： 档杆(212)与挂件杆(211)的夹角为α，α为100°到120°。

4.根据权利要求1所述的提高下料速度的溅射镀膜设备，其特征在于：档杆(212)与挂件杆(211)之间形成有凹槽(2111)。

5.根据权利要求1所述的提高下料速度的溅射镀膜设备，其特征在于：同一连接杆(2)上的挂件杆(211)的长度由上至下依次减小。

6.根据权利要求1所述的提高下料速度的溅射镀膜设备，其特征在于：底盘(23)固定连接有与底盘(23)同心的从动齿轮(231)，主壳体(11)对应从动齿轮(231)底部位置处固定连接有与从动齿轮(231)同心的中心齿轮(232)；每根连接杆(2)均转动连接于从动齿轮(231)上，每根连接杆(2)均固定连接有转动齿轮(24)，每个转动齿轮(24)均啮合于中心齿轮(232)上；从动齿轮(231)连接有驱动从动齿轮(231)转动的驱动组件(25)。

7.根据权利要求6所述的提高下料速度的溅射镀膜设备，其特征在于：驱动组件(25)包括固定连接于主壳体(11)的电机(252)，电机(252)的输出轴固定连接有主动齿轮(251)，主动齿轮(251)啮合于从动齿轮(231)上。

8.根据权利要求1所述的提高下料速度的溅射镀膜设备，其特征在于：辅壳体(12)与主壳体(11)接触的部分固定连接有硅胶条(121)。