[实用新型]用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备有效
| 申请号： | 201822122645.9 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN209513937U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 李虎;徐建飞;谭四方;何勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市德名利电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/28 |
| 代理公司： | 深圳卓正专利代理事务所(普通合伙) 44388 | 代理人： | 万正平;王平 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，所述烘烤设备包括：烘烤设备本体，所述烘烤设备本体的侧表面设有电源开关，所述电源开关的一侧设有调节组件；传热管，所述传热管用于将烘烤设备本体内部的热量传递给加热面板；烘烤设备本体的上方增设有加热面板，加热面板与烘烤设备本体通过传热管连接，烘烤设备本体在发热过程中传热管能够将热量导向到加热面板，加热面板对其上表面的存储器晶圆进行加热烘烤，利用半导体在高温情况下导电性能变强，来加速存储器晶圆的老化过程，达到在常温放止几个月甚至半年一年的效果，便于设备对存储器晶圆进行质量检测。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤设备 加热面板 晶圆 存储器 质量检测 传热管 快速存储器 电源开关 本实用新型 加速存储器 导电性能 调节组件 发热过程 加热烘烤 老化过程 热量传递 热量导向 传热 侧表面 上表面 变强 半导体 增设 | ||
【主权项】：
1.用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备包括：烘烤设备本体，所述烘烤设备本体的侧表面设有电源开关，所述电源开关的一侧设有调节组件；传热管，所述传热管用于将烘烤设备本体内部的热量传递给加热面板；加热面板，所述加热面板上表面放置有存储器晶圆，所述加热面板用于对存储器晶圆进行加热。
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