[实用新型]用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备

权利要求书

1.用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备包括：

烘烤设备本体，所述烘烤设备本体的侧表面设有电源开关，所述电源开关的一侧设有调节组件；

传热管，所述传热管用于将烘烤设备本体内部的热量传递给加热面板；

加热面板，所述加热面板上表面放置有存储器晶圆，所述加热面板用于对存储器晶圆进行加热。

2.根据权利要求1所述的用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备本体的上表通过连接杆连接有加热面板，连接杆设在烘烤设备本体的上表面外缘处，所述加热面板的下表面中心处设有传热管，传热管的底端贯穿烘烤设备本体的上表面到达烘烤设备本体的内部。

3.根据权利要求1所述的用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，其特征在于，调节组件包括加数按钮、减数按钮，所述加数按钮设在烘烤设备本体的外侧表面，加数按钮的一端贯穿烘烤设备本体的外侧表面到达烘烤设备本体的内部，减数按钮设在加数按钮的一侧，减数按钮的一端贯穿烘烤设备本体的外侧表面。

4.根据权利要求3所述的用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，其特征在于，调节组件还包括功能按钮，功能按钮的一端嵌合在烘烤设备本体的内部。

5.根据权利要求4所述的用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，其特征在于，功能按钮与减数按钮之间设有移位按钮，且移位按钮放置在功能按钮与减数按钮的中部，移位按钮的一端贯穿烘烤设备本体的外侧表面。

6.根据权利要求4所述的用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，其特征在于，所述功能按钮的上方位于烘烤设备本体的侧表面设有提示组件，提示组件包括加热指示灯与报警指示灯，报警指示灯设在加热指示灯的一侧，所述加热指示灯与报警指示灯的一端设在烘烤设备本体的外侧，加热指示灯与报警指示灯的另一端贯穿烘烤设备本体的侧壁到达烘烤设备本体的内部。

7.根据权利要求6所述的用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，其特征在于，所述加热指示灯的上方设有实际温度显示屏，所述实际温度显示屏的一侧设有设定温度显示屏，所述实际温度显示屏与设定温度显示屏均嵌合在烘烤设备本体的外侧表面。

8.根据权利要求7所述的用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备本体的两端均设有散热组件，散热组件包括散热孔，所述散热孔为圆形构件，且散热孔均匀的排布在烘烤设备本体的两侧表面。

9.根据权利要求6所述的用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，其特征在于，所述加热指示灯与报警指示灯均设在烘烤设备本体的同一侧表面，且加热指示灯与报警指示灯保持在同一高度。

10.根据权利要求6所述的用于快速存储器质量检测的开放式存储器晶圆烘烤设备，其特征在于，所述加数按钮、减数按钮、移位按钮与功能按钮均设在烘烤设备本体的同一侧表面，且加数按钮、减数按钮、移位按钮与功能按钮保持在同一高度。