[实用新型]一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装有效
| 申请号： | 201822056789.9 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN209717043U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 高鹏程 | 申请（专利权）人： | 苏州市兆恒众力精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B23Q3/06 | 分类号： | B23Q3/06 |
| 代理公司： | 32268 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 冯现伟<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，包括支撑座、旋转台、桥板、夹紧组件和定位组件；支撑座位于设备上，与设备固定连接；旋转台位于支撑座的一侧，与支撑座相连接，在支撑座上自由转动；桥板位于旋转台的一侧，与旋转台固定连接；夹紧组件位于桥板上，与桥板固定连接；定位组件位于加紧组件的一侧，与夹紧组件相抵触。本实用新型提供的一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，利用夹紧块和锁紧螺母对产品进行固定，而采用固定挡块上的防滑齿限制产品的位置，整体固定在桥板上，桥板可以跟随旋转台自由转动，可以保证产品的多面进行加工，而不需要重新定位装夹，保证生产精度，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 桥板 旋转台 支撑座 夹紧组件 本实用新型 定位组件 晶圆产品 清洗设备 工装 加工 固定挡块 生产效率 锁紧螺母 整体固定 重新定位 防滑齿 夹紧块 多面 装夹 抵触 保证 生产 | ||
【主权项】：
1.一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，其特征在于，包括支撑座、旋转台、桥板、夹紧组件和定位组件；所述的支撑座位于设备上，与设备固定连接；所述的旋转台位于所述的支撑座的一侧，与所述的支撑座相连接，在所述的支撑座上自由转动；所述的桥板位于所述的旋转台的一侧，与所述的旋转台固定连接；所述的夹紧组件位于所述的桥板上，与所述的桥板固定连接；所述的定位组件位于所述的夹紧组件的一侧，与所述的夹紧组件相抵触。/n
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