[实用新型]一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装

权利要求书

1.一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，其特征在于，包括支撑座、旋转台、桥板、夹紧组件和定位组件；所述的支撑座位于设备上，与设备固定连接；所述的旋转台位于所述的支撑座的一侧，与所述的支撑座相连接，在所述的支撑座上自由转动；所述的桥板位于所述的旋转台的一侧，与所述的旋转台固定连接；所述的夹紧组件位于所述的桥板上，与所述的桥板固定连接；所述的定位组件位于所述的夹紧组件的一侧，与所述的夹紧组件相抵触。

2.如权利要求1所述的一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，其特征在于，所述的夹紧组件包括夹紧工装和锁紧螺母，所述的夹紧工装位于所述的桥板上，与所述的桥板固定连接；所述的锁紧螺母位于所述的夹紧工装的一侧，与所述的夹紧工装相连接。

3.如权利要求2所述的一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，其特征在于，所述的夹紧工装上设置有夹紧块，所述的夹紧块位于所述的夹紧工装的两侧，对称分布在待加工工件的两端。

4.如权利要求2所述的一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，其特征在于，所述的锁紧螺母设置有多个，对称分布在所述的夹紧工装的两侧。

5.如权利要求1所述的一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，其特征在于，所述的定位组件设置有固定挡块，所述的固定挡块位于待加工工件的一侧，与所述的夹紧组件位置相对应，与待加工工件相抵触。

6.如权利要求5所述的一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，其特征在于，所述的固定挡块上设置有防滑齿，所述的防滑齿位于所述的固定挡块的一侧，与所述的固定挡块固定连接。

7.如权利要求6所述的一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，其特征在于，所述的防滑齿设置有两个，对称分布在所述的固定挡块的两侧，与代加工工件相抵触。