[实用新型]一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装

说明书

本实用新型提供的一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，包括支撑座、旋转台、桥板、夹紧组件和定位组件；支撑座位于设备上，与设备固定连接；旋转台位于支撑座的一侧，与支撑座相连接，在支撑座上自由转动；桥板位于旋转台的一侧，与旋转台固定连接；夹紧组件位于桥板上，与桥板固定连接；定位组件位于加紧组件的一侧，与夹紧组件相抵触。本实用新型提供的一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，利用夹紧块和锁紧螺母对产品进行固定，而采用固定挡块上的防滑齿限制产品的位置，整体固定在桥板上，桥板可以跟随旋转台自由转动，可以保证产品的多面进行加工，而不需要重新定位装夹，保证生产精度，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装。

背景技术

目前，CPU使用的晶圆产品在电子产业内被广泛运用，而晶圆产品在前期抛光，表面光洁度已经达到非常高的标准，为此在进入到清洗工序时就需要清洗设备在高精度的条件下进行清洗，因此清洗设备的零件都需要进行精密加工。

传统的加工工装只能采用独立装夹，一次装夹后只能完成一面加工，重新装夹势必会降低定位精度，影响零件加工，另外多次装夹也会影响加工效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：提供一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，通过一次装夹定位，进行旋转加工，可以保证三个加工面一次装夹完成，提高生产效率的同时也提高了生产精度，还可以避免多次装夹影响产品表面，从而影响晶圆的表面光洁度。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，包括支撑座、旋转台、桥板、夹紧组件和定位组件；所述的支撑座位于设备上，与设备固定连接；所述的旋转台位于所述的支撑座的一侧，与所述的支撑座相连接，在所述的支撑座上自由转动；所述的桥板位于所述的旋转台的一侧，与所述的旋转台固定连接；所述的夹紧组件位于所述的桥板上，与所述的桥板固定连接；所述的定位组件位于所述的夹紧组件的一侧，与所述的夹紧组件相抵触。

进一步的，所述的夹紧组件包括夹紧工装和锁紧螺母，所述的夹紧工装位于所述的桥板上，与所述的桥板固定连接；所述的锁紧螺母位于所述的夹紧工装的一侧，与所述的夹紧工装相连接。

进一步的，所述的夹紧工装上设置有夹紧块，所述的夹紧块位于所述的夹紧工装的两侧，对称分布在待加工工件的两端。

进一步的，所述的锁紧螺母设置有多个，对称分布在所述的夹紧工装的两侧。

进一步的，所述的定位组件设置有固定挡块，所述的固定挡块位于待加工工件的一侧，与所述的夹紧组件位置相对应，与待加工工件相抵触。

进一步的，所述的固定挡块上设置有防滑齿，所述的防滑齿位于所述的固定挡块的一侧，与所述的固定挡块固定连接。

进一步的，所述的防滑齿设置有两个，对称分布在所述的固定挡块的两侧，与代加工工件相抵触。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种加工晶圆产品清洗设备零件的工装，利用夹紧块和锁紧螺母对产品进行固定，而采用固定挡块上的防滑齿限制产品的位置，整体固定在桥板上，桥板可以跟随旋转台自由转动，可以保证产品的多面进行加工，而不需要重新定位装夹，保证生产精度，提高生产效率。

附图说明

图1示出本实用新型的主视图。

其中：1.支撑座、2.旋转台、3.桥板、4.夹紧组件、5.定位组件、6.夹紧工装、 7.锁紧螺母、8.固定挡块、9.防滑齿、10.夹紧块、11.代加工工件。

具体实施方式