[实用新型]一种承片台及探针台有效
| 申请号： | 201822025953.X | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209590078U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 王胜利;李景均;杨应俊 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于吸附有晶粒蓝膜的承片台。所述承片台包括，吸附环槽；所述吸附环槽连通有一个或多个真空控制孔；所述吸附环槽用于吸附有晶粒蓝膜；吸附环槽吸附有晶粒蓝膜后，所述吸附环槽与有晶粒蓝膜构成真空吸附空间；吸附平面，晶粒区域正对应并贴合于所述吸附平面；所述吸附环槽环绕所述吸附平面；所述吸附平面上，位于吸附环槽和晶粒区域之间设置有排气孔。本实用新型还公开了一种探针台，该探针台包括上述的承片台。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附环 晶粒 吸附平面 承片台 蓝膜 吸附 晶粒区域 探针台 真空吸附空间 本实用新型 真空控制孔 排气孔 探针 贴合 连通 环绕 | ||
【主权项】：
1.一种用于吸附有晶粒蓝膜（40）的承片台（100），其特征在于：所述承片台（100）包括，吸附环槽（21）；所述吸附环槽（21）连通有一个或多个真空控制孔（22）；所述吸附环槽（21）用于吸附有晶粒蓝膜（40）；吸附环槽（21）吸附有晶粒蓝膜（40）后，所述吸附环槽（21）与有晶粒蓝膜（40）构成真空吸附空间（a）；吸附平面（31），晶粒区域（50）正对应并贴合于所述吸附平面（31）；所述吸附环槽（21）环绕所述吸附平面（31）；所述吸附平面（31）上，位于吸附环槽（21）和晶粒区域（50）之间设置有排气孔（32）。
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