[实用新型]一种承片台及探针台

说明书

本实用新型公开了一种用于吸附有晶粒蓝膜的承片台。所述承片台包括，吸附环槽；所述吸附环槽连通有一个或多个真空控制孔；所述吸附环槽用于吸附有晶粒蓝膜；吸附环槽吸附有晶粒蓝膜后，所述吸附环槽与有晶粒蓝膜构成真空吸附空间；吸附平面，晶粒区域正对应并贴合于所述吸附平面；所述吸附环槽环绕所述吸附平面；所述吸附平面上，位于吸附环槽和晶粒区域之间设置有排气孔。本实用新型还公开了一种探针台，该探针台包括上述的承片台。

技术领域

本实用新型涉及一种承片台及探针台。

背景技术

现有的用于测试有晶粒蓝膜的承片台，会存在吸附平面和晶粒区域之间停留有空气，影响发光二极管晶粒测试的准确性。

实用新型内容

为解决晶粒区域停留空气的问题，本实用新型提出一种承片台。

本实用新型的技术方案为：一种用于吸附有晶粒蓝膜的承片台，所述承片台包括，

吸附环槽；所述吸附环槽连通有一个或多个真空控制孔；所述吸附环槽用于吸附有晶粒蓝膜；吸附环槽吸附有晶粒蓝膜后，所述吸附环槽与有晶粒蓝膜构成真空吸附空间；

吸附平面，晶粒区域正对应并贴合于所述吸附平面；所述吸附环槽环绕所述吸附平面；

所述吸附平面上，位于吸附环槽和晶粒区域之间设置有排气孔。

进一步的，所述承片台包括，

基体，所述吸附环槽设置于所述基体上；所述基体设置有透光孔；所述吸附环槽环绕所述透光孔；

支撑台，所述支撑台为透光玻璃，所述吸附平面位于所述支撑台上；所述支撑台正对应所述透光孔并连接于所述透光孔内壁；所述排气孔连通所述透光孔。

进一步的，所述透光孔内壁设置有阶梯环；

所述支撑台远离吸附平面的一面沿阶梯环连接于基体。

进一步的，所述支撑台位于吸附平面侧的边沿设置有排气倒角；所述排气孔位于晶粒区域和排气倒角之间；

所述支撑台密封连接于基体；所述吸附环槽通过连通槽连通于排气倒角。

进一步的，所述吸附平面在正对应晶粒区域设置有出气孔。

进一步的，所述基体设置有放置环槽，所述放置环槽环绕所述吸附环槽。

一种探针台，所述探针台包括上述的承片台。

本实用新型的有益效果在于：保证晶粒区域贴合吸附平面前，吸附环槽已经吸附有晶粒蓝膜，晶粒区域与吸附平面间的空气因晶粒区域挤压而从排气孔排出；保证晶粒区域不受未排净的空气影响测试。

附图说明

图1为承片台结构示意图；

图2为承片台剖面示意图；

图3为有晶粒蓝膜吸附于承片台结构示意图；

图4为基体结构示意图；

图5为支撑台结构示意图；

图6为有晶粒蓝膜结构示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案，下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

如图1、图2、图3、图4、图5和图6所示，一种用于吸附有晶粒蓝膜40的承片台100，当然对于其它柔软的薄膜也可以用于所述场合，只要能够满足吸附于所述承片台100要求的薄膜均可；所述承片台100包括，