[实用新型]一种承片台及探针台有效
| 申请号： | 201822025953.X | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209590078U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 王胜利;李景均;杨应俊 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸附环 晶粒 吸附平面 承片台 蓝膜 吸附 晶粒区域 探针台 真空吸附空间 本实用新型 真空控制孔 排气孔 探针 贴合 连通 环绕 | ||
1.一种用于吸附有晶粒蓝膜（40）的承片台（100），其特征在于：所述承片台（100）包括，
吸附环槽（21）；所述吸附环槽（21）连通有一个或多个真空控制孔（22）；所述吸附环槽（21）用于吸附有晶粒蓝膜（40）；吸附环槽（21）吸附有晶粒蓝膜（40）后，所述吸附环槽（21）与有晶粒蓝膜（40）构成真空吸附空间（a）；
吸附平面（31），晶粒区域（50）正对应并贴合于所述吸附平面（31）；所述吸附环槽（21）环绕所述吸附平面（31）；
所述吸附平面（31）上，位于吸附环槽（21）和晶粒区域（50）之间设置有排气孔（32）。
2.根据权利要求1所述的承片台（100），其特征在于：所述承片台（100）包括，
基体（20），所述吸附环槽（21）设置于所述基体（20）上；所述基体（20）设置有透光孔（23）；所述吸附环槽（21）环绕所述透光孔（23）；
支撑台（30），所述支撑台（30）为透光玻璃，所述吸附平面（31）位于所述支撑台（30）上；所述支撑台（30）正对应所述透光孔（23）并连接于所述透光孔（23）内壁；所述排气孔（32）连通所述透光孔（23）。
3.根据权利要求2所述的承片台（100），其特征在于：所述透光孔（23）内壁设置有阶梯环（231）；
所述支撑台（30）远离吸附平面（31）的一面沿阶梯环（231）连接于基体（20）。
4.根据权利要求3所述的承片台（100），其特征在于：所述支撑台（30）位于吸附平面（31）侧的边沿设置有排气倒角（33）；所述排气孔（32）位于晶粒区域（50）和排气倒角（33）之间；
所述支撑台（30）密封连接于基体（20）；所述吸附环槽（21）通过连通槽（24）连通于排气倒角（33）。
5.根据权利要求1所述的承片台（100），其特征在于：所述吸附平面（31）在正对应晶粒区域（50）设置有出气孔。
6.根据权利要求2所述的承片台（100），其特征在于：所述基体（20）设置有放置环槽（25），所述放置环槽（25）环绕所述吸附环槽（21）。
7.一种探针台，其特征在于：所述探针台包括如权利要求1-6任意一项所述的承片台（100）。
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