[实用新型]一种圆盘清洗承载花篮压杆装置

摘要

本实用新型公开一种圆盘清洗承载花篮压杆装置，包括承载花篮、晶圆安装机构和压杆，所述晶圆安装机构设置在承载花篮内部左右两侧，所述压杆安装在晶圆安装机构顶端，所述压杆贯穿晶圆安装机构；所述承载花篮包括承载花篮底板、承载花篮侧边、导流管、连接柱、矫孔、挡块、支撑柱，所述晶圆安装机构包括晶圆卡槽、隔片、固定板、隔板，所述压杆包括压杆主体、螺纹、固定板、把手；本实用新型在晶圆安装机构顶端设置了压杆装置，且在晶圆卡槽与隔片两端安装了固定板，使得承载花篮在槽内清洗时，晶圆卡槽内的晶圆被固定，不会上浮破片，有效地对晶圆进行保护。

主权项

1.一种圆盘清洗承载花篮压杆装置，其特征在于，包括承载花篮(1)、晶圆安装机构(2)和压杆(3)，所述晶圆安装机构(2)设置在承载花篮(1)内部左右两侧，所述压杆(3)安装在晶圆安装机构(2)顶端，所述压杆(3)贯穿晶圆安装机构(2)；所述承载花篮(1)包括承载花篮底板(11)、承载花篮侧边(12)、导流管(13)、连接柱(14)、矫孔(15)、挡块(16)、支撑柱(17)，所述承载花篮(1)四周设置连接柱(14)，所述连接柱(14)顶端固定在承载花篮(1)表面，所述连接柱(14)底端安装在承载花篮(1)内部，所述承载花篮(1)四周设置矫孔(15)，所述导流管(13)安装在承载花篮(1)内部中心位置，所述挡块(16)固定在承载花篮底板(11)上表面，所述挡块(16)左右相对设置，所述支撑柱(17)安装在承载花篮(1)底端；所述晶圆安装机构(2)包括晶圆卡槽(21)、隔片(22)、第一固定板(23)、隔板(24)，所述晶圆卡槽(21)、隔片(22)、第一固定板(23)、隔板(24)安装在承载花篮(1)内部，所述晶圆卡槽(21)固定在承载花篮底板(11)上表面，所述隔片(22)固定在承载花篮底板(11)上表面，所述晶圆卡槽(21)与隔片(22)相互接触，所述第一固定板(23)固定在晶圆卡槽(21)与隔片(22)两侧，所述隔板(24)贯穿承载花篮(1)中心位置；所述压杆(3)包括压杆主体(31)、螺纹(32)、第二固定板(33)、把手(34)，所述压杆主体(31)贯穿晶圆安装机构(2)顶端，所述压杆主体(31)底端与承载花篮(1)底端平齐，所述第二固定板(33)与承载花篮(1)前端表面接触，所述把手(34)固定在第二固定板(33)中心位置。