[实用新型]一种圆盘清洗承载花篮压杆装置

权利要求书

1.一种圆盘清洗承载花篮压杆装置，其特征在于，包括承载花篮(1)、晶圆安装机构(2)和压杆(3)，所述晶圆安装机构(2)设置在承载花篮(1)内部左右两侧，所述压杆(3)安装在晶圆安装机构(2)顶端，所述压杆(3)贯穿晶圆安装机构(2)；

所述承载花篮(1)包括承载花篮底板(11)、承载花篮侧边(12)、导流管(13)、连接柱(14)、矫孔(15)、挡块(16)、支撑柱(17)，所述承载花篮(1)四周设置连接柱(14)，所述连接柱(14)顶端固定在承载花篮(1)表面，所述连接柱(14)底端安装在承载花篮(1)内部，所述承载花篮(1)四周设置矫孔(15)，所述导流管(13)安装在承载花篮(1)内部中心位置，所述挡块(16)固定在承载花篮底板(11)上表面，所述挡块(16)左右相对设置，所述支撑柱(17)安装在承载花篮(1)底端；

所述晶圆安装机构(2)包括晶圆卡槽(21)、隔片(22)、第一固定板(23)、隔板(24)，所述晶圆卡槽(21)、隔片(22)、第一固定板(23)、隔板(24)安装在承载花篮(1)内部，所述晶圆卡槽(21)固定在承载花篮底板(11)上表面，所述隔片(22)固定在承载花篮底板(11)上表面，所述晶圆卡槽(21)与隔片(22)相互接触，所述第一固定板(23)固定在晶圆卡槽(21)与隔片(22)两侧，所述隔板(24)贯穿承载花篮(1)中心位置；

所述压杆(3)包括压杆主体(31)、螺纹(32)、第二固定板(33)、把手(34)，所述压杆主体(31)贯穿晶圆安装机构(2)顶端，所述压杆主体(31)底端与承载花篮(1)底端平齐，所述第二固定板(33)与承载花篮(1)前端表面接触，所述把手(34)固定在第二固定板(33)中心位置。

2.根据权利要求1所述的一种圆盘清洗承载花篮压杆装置,其特征在于，所述导流管(13)贯穿承载花篮(1)，所述导流管(13)前后两端与承载花篮(1)前后两端平齐。

3.根据权利要求1所述的一种圆盘清洗承载花篮压杆装置,其特征在于，所述晶圆卡槽(21)、隔片(22)、第一固定板(23)关于隔板(24)左右相对设置。

4.根据权利要求1所述的一种圆盘清洗承载花篮压杆装置,其特征在于，所述螺纹(32)与晶圆卡槽(21)对齐，压杆(3)里层材质为碳棒。

5.根据权利要求1所述的一种圆盘清洗承载花篮压杆装置,其特征在于，所述支撑柱(17)与承载花篮底板(11)接触，所述隔板(24)两端与承载花篮(1)两端平齐。