[实用新型]一种圆盘清洗承载花篮压杆装置

说明书

本实用新型公开一种圆盘清洗承载花篮压杆装置，包括承载花篮、晶圆安装机构和压杆，所述晶圆安装机构设置在承载花篮内部左右两侧，所述压杆安装在晶圆安装机构顶端，所述压杆贯穿晶圆安装机构；所述承载花篮包括承载花篮底板、承载花篮侧边、导流管、连接柱、矫孔、挡块、支撑柱，所述晶圆安装机构包括晶圆卡槽、隔片、固定板、隔板，所述压杆包括压杆主体、螺纹、固定板、把手；本实用新型在晶圆安装机构顶端设置了压杆装置，且在晶圆卡槽与隔片两端安装了固定板，使得承载花篮在槽内清洗时，晶圆卡槽内的晶圆被固定，不会上浮破片，有效地对晶圆进行保护。

技术领域

本实用新型属于半导体湿式制程设备，具体为一种圆盘清洗承载花篮压杆装置。

背景技术

晶圆在存储、装载和卸载的过程中，以及在每一处理步骤后，通常都会在晶圆上留下污染物，如颗粒物，金属离子，有机物等，所以需要对晶圆进行清洗。清洗过程中要先把硅片放在承载花篮里，再将硅片和承载花篮整体放入槽内清洗液中，待清洗完成后将花篮取出，但是在承载花篮放入槽内清洗时，晶圆会上浮从而导致破片。

实用新型内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型提供一种圆盘清洗承载花篮压杆装置。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种圆盘清洗承载花篮压杆装置，包括承载花篮、晶圆安装机构和压杆，所述晶圆安装机构设置在承载花篮内部左右两侧，所述压杆安装在晶圆安装机构顶端，所述压杆贯穿晶圆安装机构；

所述承载花篮包括承载花篮底板、承载花篮侧边、导流管、连接柱、矫孔、挡块、支撑柱，所述承载花篮四周设置连接柱，所述连接柱顶端固定在承载花篮表面，所述连接柱底端安装在承载花篮内部，所述承载花篮四周设置矫孔，所述导流管安装在承载花篮内部中心位置，所述挡块固定在承载花篮底板上表面，所述挡块左右相对设置，所述支撑柱安装在承载花篮底端；

所述晶圆安装机构包括晶圆卡槽、隔片、第一固定板、隔板，所述晶圆卡槽、隔片、第一固定板、隔板安装在承载花篮内部，所述晶圆卡槽固定在承载花篮底板上表面，所述隔片固定在承载花篮底板上表面，所述晶圆卡槽与隔片相互接触，所述第一固定板固定在晶圆卡槽与隔片两侧，所述隔板贯穿承载花篮中心位置；

所述压杆包括压杆主体、螺纹、第二固定板、把手，所述压杆主体贯穿晶圆安装机构顶端，所述压杆主体底端与承载花篮底端平齐，所述第二固定板与承载花篮前端表面接触，所述把手固定在第二固定板中心位置。

进一步地，所述导流管贯穿承载花篮，所述导流管前后两端与承载花篮前后两端平齐。

进一步地，所述晶圆卡槽、隔片、第一固定板关于隔板左右相对设置。

进一步地，所述螺纹与晶圆卡槽对齐，压杆里层材质为碳棒。

进一步地，所述支撑柱与承载花篮底板接触，所述隔板两端与承载花篮两端平齐。

本实用新型的有益效果：

(1)本实用新型在晶圆安装机构顶端设置了压杆装置，且在晶圆卡槽与隔片两端安装了第一固定板，使得承载花篮在槽内清洗时，晶圆卡槽内的晶圆被固定，不会上浮破片，有效地对晶圆进行保护。

(2)本实用新型在承载花篮底板安装了挡块，保证了晶圆在安装过程中稳定性，在承载花篮内部中心位置安装导流管，既增加了液体在局部的流动性，使得清洗更加彻底，又保障了晶圆承载花篮的机械性能。

(3)本实用新型承载花篮侧边是可拆卸装置，使得在清洗过程中方便清洗，在底部有一层缓冲垫，在清洗和安装过程中给予晶圆缓冲，避免晶圆受到破坏，减少损失，降低成本。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。