[实用新型]一种便于检测派瑞林镀膜工艺的检测加工装置

摘要

本实用新型公开了一种便于检测的派瑞林镀膜工艺的检测加工装置，属于化学气相沉积技术领域，包括：蒸发室、裂解室、真空沉积室、真空系统、冷却控制器以及管道，真空沉积室上部设置有升华杯，升华杯设置有料仓杯、加热环和升华室，加热环上设有温度传感器，料仓杯的下端设有密封环，密封环的一侧设有加热片，加热片的底部设有下加热传感器，升华室上连接有连接环，连接环上连接有两个前加热环，两个前加热环上分别设有上加热传感器和中加热传感器，在其中一个前加热环的一端设有上连接环。本实用新型通过将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上，通过用紫外线灯照射来检测，可以对加工产品的效果有了直观的观察。

主权项

1.一种便于检测派瑞林镀膜工艺的检测加工装置，其特征在于，包括：蒸发室(1)、裂解室(2)、真空沉积室(3)、真空系统(5)、冷却控制器(6)以及管道(7)，所述蒸发室(1)、裂解室(2)、真空沉积室(3)及真空系统(5)依次通过管道(7)连通，所述真空沉积室(3)上部设置有升华杯(4)，所述升华杯(4)设置有料仓杯(42)、加热环(43)和升华室(48)，所述加热环(43)设置在所述升华室(48)上，所述升华室(48)设置在所述料仓杯(42)上，所述加热环(43)上设有温度传感器(44)，所述料仓杯(42)的下端设有密封环(41)，所述密封环(41)的一侧设有加热片(47)，所述加热片(47)的底部设有下加热传感器(46‑3)，所述升华室(48)上连接有连接环(45)，所述连接环(45)上连接有两个前加热环(43‑1)，两个所述前加热环(43‑1)上分别设有上加热传感器(46‑1)和中加热传感器(46‑2)，在其中一个所述前加热环(43‑1)的一端设有上连接环(45‑1)，所述料仓杯(42)中可加入荧光增白剂粉料，通过将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上，用紫外线灯照射后检测。