[实用新型]一种便于检测派瑞林镀膜工艺的检测加工装置

权利要求书

1.一种便于检测派瑞林镀膜工艺的检测加工装置，其特征在于，包括：蒸发室(1)、裂解室(2)、真空沉积室(3)、真空系统(5)、冷却控制器(6)以及管道(7)，所述蒸发室(1)、裂解室(2)、真空沉积室(3)及真空系统(5)依次通过管道(7)连通，所述真空沉积室(3)上部设置有升华杯(4)，所述升华杯(4)设置有料仓杯(42)、加热环(43)和升华室(48)，所述加热环(43)设置在所述升华室(48)上，所述升华室(48)设置在所述料仓杯(42)上，所述加热环(43)上设有温度传感器(44)，所述料仓杯(42)的下端设有密封环(41)，所述密封环(41)的一侧设有加热片(47)，所述加热片(47)的底部设有下加热传感器(46-3)，所述升华室(48)上连接有连接环(45)，所述连接环(45)上连接有两个前加热环(43-1)，两个所述前加热环(43-1)上分别设有上加热传感器(46-1)和中加热传感器(46-2)，在其中一个所述前加热环(43-1)的一端设有上连接环(45-1)，所述料仓杯(42)中可加入荧光增白剂粉料，通过将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上，用紫外线灯照射后检测。

2.根据权利要求1所述的一种便于检测派瑞林镀膜工艺的检测加工装置，其特征在于，所述料仓杯(42)为存储原料的容器；所述加热片(47)用于保证原料蒸发后不会下降冷却，所述上连接环(45-1)为连接所述真空沉积室(3)的接口。

3.根据权利要求1所述的一种便于检测派瑞林镀膜工艺的检测加工装置，其特征在于，所述加热环(43)为粉体加热装置，用于能使粉体蒸发，两个所述前加热环(43-1)用于确保原料在蒸发过程中不在管道内凝固。

4.根据权利要求1所述的一种便于检测派瑞林镀膜工艺的检测加工装置，其特征在于，所述升华杯(4)通过所述连接环(45)和真空沉积室(3)连接。

5.根据权利要求1所述的一种便于检测派瑞林镀膜工艺的检测加工装置，其特征在于，所述升华杯(4)为不锈钢升华杯，所述升华杯(4)可加热到310-500℃之间。

6.根据权利要求1所述的一种便于检测派瑞林镀膜工艺的检测加工装置，其特征在于，所述密封环(41)可以将远离所述真空沉积室(3)一端的所述升华杯(4)密封。

7.根据权利要求1所述的一种便于检测派瑞林镀膜工艺的检测加工装置，其特征在于，所述加热环(43)可固定在所述升华杯(4)上起到加热的作用。