[实用新型]一种派瑞林内循环式镀膜桶有效

专利信息
申请号: 201822023155.3 申请日: 2018-12-04
公开(公告)号: CN209144242U 公开(公告)日: 2019-07-23
发明(设计)人: 张卫兴;张振兴 申请(专利权)人: 江苏可润光电科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 冯子玲
地址: 210000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了派瑞林内循环式镀膜桶,属于镀膜技术领域,包括机体,包括真空沉积室,真空沉积室的内部设置有真空外壳,且真空外壳内部的底端均匀设置有支撑系统,支撑系统的顶部安装有空心通轴,且空心通轴的内侧安装有封闭滚桶,封闭滚桶外侧的一端安装有纵动齿轮,真空外壳的底部安装有主动齿轮,封闭滚桶的两侧设置有进出料管,且真空外壳一侧的中间位置处设置有真空冷却系统,真空外壳另一侧的中间位置处设置有裂解管出口。本实用新型可以通过真空冷却控制系统不断的抽空真空沉积室内的空气,使其始终保持高真实状态,为进一步提高产能,也可增加一至多个封闭滚桶。
搜索关键词: 真空外壳 滚桶 封闭 本实用新型 真空沉积室 空心通轴 内循环式 支撑系统 派瑞林 镀膜 真空冷却系统 顶部安装 镀膜技术 进出料管 均匀设置 控制系统 两侧设置 内部设置 真空沉积 真空冷却 真实状态 主动齿轮 动齿轮 裂解管 产能 底端 抽空 室内 出口
【主权项】:
1.一种派瑞林内循环式镀膜桶,包括真空沉积室(3),其特征在于:所述真空沉积室(3)的内部设置有真空外壳(3‑8),且真空外壳(3‑8)内部的底端均匀设置有支撑系统(3‑9),所述支撑系统(3‑9)的顶部安装有空心通轴(3‑2),且空心通轴(3‑2)的内侧安装有第一封闭滚桶(3‑3),所述第一封闭滚桶(3‑3)外侧的一端安装有纵动齿轮(3‑4),所述真空外壳(3‑8)的底部安装有主动齿轮(3‑5),所述第一封闭滚桶(3‑3)的两侧设置有进出料管(3‑6),且真空外壳(3‑8)一侧的中间位置处设置有真空冷却系统(3‑7),所述真空外壳(3‑8)另一侧的中间位置处设置有裂解管出口(3‑1)。
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