[实用新型]一种派瑞林内循环式镀膜桶有效
申请号: | 201822023155.3 | 申请日: | 2018-12-04 |
公开(公告)号: | CN209144242U | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 张卫兴;张振兴 | 申请(专利权)人: | 江苏可润光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空外壳 滚桶 封闭 本实用新型 真空沉积室 空心通轴 内循环式 支撑系统 派瑞林 镀膜 真空冷却系统 顶部安装 镀膜技术 进出料管 均匀设置 控制系统 两侧设置 内部设置 真空沉积 真空冷却 真实状态 主动齿轮 动齿轮 裂解管 产能 底端 抽空 室内 出口 | ||
1.一种派瑞林内循环式镀膜桶,包括真空沉积室(3),其特征在于:所述真空沉积室(3)的内部设置有真空外壳(3-8),且真空外壳(3-8)内部的底端均匀设置有支撑系统(3-9),所述支撑系统(3-9)的顶部安装有空心通轴(3-2),且空心通轴(3-2)的内侧安装有第一封闭滚桶(3-3),所述第一封闭滚桶(3-3)外侧的一端安装有纵动齿轮(3-4),所述真空外壳(3-8)的底部安装有主动齿轮(3-5),所述第一封闭滚桶(3-3)的两侧设置有进出料管(3-6),且真空外壳(3-8)一侧的中间位置处设置有真空冷却系统(3-7),所述真空外壳(3-8)另一侧的中间位置处设置有裂解管出口(3-1)。
2.根据权利要求1所述的一种派瑞林内循环式镀膜桶,其特征在于:所述主动齿轮(3-5)底部的中间位置处安装有转杆,且转杆的一端与电机的输出端固定安装,所述主动齿轮(3-5)与纵动齿轮(3-4)相互配合。
3.根据权利要求1所述的一种派瑞林内循环式镀膜桶,其特征在于:所述真空外壳(3-8)的内部按一定角度安装四根栏料棒,且真空外壳(3-8)两侧通过用圆板中间打孔后的卡槽安装在圆桶两边,并用锁扣锁紧。
4.根据权利要求1所述的一种派瑞林内循环式镀膜桶,其特征在于:所述真空沉积室(3)两侧的中间位置处安装有管道(6),且真空沉积室(3)一侧的管道(6)的一端安装有真空冷却控制系统(5),所述真空沉积室(3)另一侧的管道(6)的一端安装有裂解室(2),且裂解室(2)的一端通过管道(6)安装有蒸发室(1)。
5.根据权利要求1所述的一种派瑞林内循环式镀膜桶,其特征在于:所述支撑系统(3-9)可设置为多组,且第一封闭滚桶(3-3)一侧设置有第二封闭滚筒(3-10),支撑系统(3-9)数量与封闭滚桶相互配合的数量。
6.根据权利要求3所述的一种派瑞林内循环式镀膜桶,其特征在于:所述栏料棒的一端大于另一端。
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