[实用新型]一种派瑞林内循环式镀膜桶有效
申请号: | 201822023155.3 | 申请日: | 2018-12-04 |
公开(公告)号: | CN209144242U | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 张卫兴;张振兴 | 申请(专利权)人: | 江苏可润光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 真空外壳 滚桶 封闭 本实用新型 真空沉积室 空心通轴 内循环式 支撑系统 派瑞林 镀膜 真空冷却系统 顶部安装 镀膜技术 进出料管 均匀设置 控制系统 两侧设置 内部设置 真空沉积 真空冷却 真实状态 主动齿轮 动齿轮 裂解管 产能 底端 抽空 室内 出口 | ||
本实用新型公开了派瑞林内循环式镀膜桶,属于镀膜技术领域,包括机体,包括真空沉积室,真空沉积室的内部设置有真空外壳,且真空外壳内部的底端均匀设置有支撑系统,支撑系统的顶部安装有空心通轴,且空心通轴的内侧安装有封闭滚桶,封闭滚桶外侧的一端安装有纵动齿轮,真空外壳的底部安装有主动齿轮,封闭滚桶的两侧设置有进出料管,且真空外壳一侧的中间位置处设置有真空冷却系统,真空外壳另一侧的中间位置处设置有裂解管出口。本实用新型可以通过真空冷却控制系统不断的抽空真空沉积室内的空气,使其始终保持高真实状态,为进一步提高产能,也可增加一至多个封闭滚桶。
技术领域
本实用新型涉及一种镀膜装置,特别是涉及一种派瑞林内循环式镀膜桶,属于镀膜技术领域。
背景技术
随着现代材料的先进性的发展要求,对高精器件产品要求将越来越高,即核心器件越来越小型化,小型、超薄化是未来器件发展的方向。所以加工难度也将是越来越困难,为了解决小型化、数量多的加工需求而发明此项专利,以适应未来高科技发展的需要。
派瑞林镀膜常用的是网状滚筒式,在加工中对粉体造成极大的浪费,另外在清洁时不够便捷需要经常的进行清洁,其次镀膜不够均匀,且镀膜时间较长。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是为了提供一种派瑞林内循环式镀膜桶,在此同时,真空冷却控制系统不断的抽空真空沉积室内的空气,使其始终保持高真实状态,为进一步提高产能,也可增加一至多个封闭滚桶。
本实用新型的目的可以通过采用如下技术方案达到:
一种派瑞林内循环式镀膜桶,包括真空沉积室,所述真空沉积室的内部设置有真空外壳,且真空外壳内部的底端均匀设置有支撑系统,所述支撑系统的顶部安装有空心通轴,且空心通轴的内侧安装有封闭滚桶,所述封闭滚桶外侧的一端安装有纵动齿轮,所述真空外壳的底部安装有主动齿轮,所述封闭滚桶的两侧设置有进出料管,且真空外壳一侧的中间位置处设置有真空冷却系统,所述真空外壳另一侧的中间位置处设置有裂解管出口。
优选的,所述主动齿轮底部的中间位置处安装有转杆,且转杆的一端与电机的输出端固定安装,所述主动齿轮与纵动齿轮相互配合。
优选的,所述真空外壳的内部按一定角度安装四根栏料棒,且真空外壳两侧通过用圆板中间打孔后的卡槽安装在圆桶两边,并用锁扣锁紧。
优选的,所述真空沉积室两侧的中间位置处安装有管道,且真空沉积室一侧的管道的一端安装有真空冷却控制系统,所述真空沉积室另一侧的管道的一端安装有裂解室,且裂解室的一端通过管道安装有蒸发室。
优选的,所述支撑系统可设置为多组,且第一封闭滚桶一侧设置有第二封闭滚筒,支撑系统数量与封闭滚桶相互配合的数量。
优选的,所述栏料棒的一端大于另一端。
本实用新型的有益技术效果:本实用新型提供的派瑞林内循环式镀膜桶,减少材料的浪费,减少设备清洁时间,镀膜更加均匀,减少镀膜时间。
附图说明
图1为按照本实用新型的一种派瑞林内循环式镀膜桶的一优选实施例的密封桶加工图;
图2为按照本实用新型的一种派瑞林内循环式镀膜桶的一优选实施例的工艺步骤图;
图3为按照本实用新型的一种派瑞林内循环式镀膜桶的一优选实施例多层密封桶同时加工图;
图4为封闭滚桶内栏料棒按放图;
图5为按照本实用新型的一种派瑞林内循环式镀膜桶的一优选实施例的滚桶内部三角波纹条放置图;
图6为按照本实用新型的一种派瑞林内循环式镀膜桶的一优选实施例的盖板俯视图;
图7为按照本实用新型的一种派瑞林内循环式镀膜桶的一优选实施例的盖板侧视图;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏可润光电科技有限公司,未经江苏可润光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201822023155.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种PVD加热装置及设备
- 下一篇:脉冲激光沉积系统的靶材装载装置及系统
- 同类专利
- 专利分类