[实用新型]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201822007055.1 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN209456549U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 星野孝雄 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蒸镀装置。该蒸镀装置具有：收容蒸镀材料的蒸发源、以及载置所述蒸发源以使所述蒸发源在腔室内移动的蒸发源移动机构，其特征在于，在所述腔室内存在蒸镀位置和维护位置，所述蒸镀位置是向基板上形成蒸镀膜的位置，仅在所述蒸发源移动机构位于所述维护位置时，能够从所述蒸发源移动机构拉出所述蒸发源。根据本实用新型的如上所述的结构，能够防止作业者在维护位置之外的其他位置处向外拉出蒸发源而导致基体板或操作手柄与腔室内的隔壁接触而产生破损。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 蒸发源移动 维护位置 蒸镀装置 本实用新型 蒸镀 室内 操作手柄 室内移动 蒸镀材料 基体板 位置处 蒸镀膜 基板 拉出 外拉 载置 隔壁 破损 收容 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，该蒸镀装置具有：收容蒸镀材料的蒸发源、以及载置所述蒸发源以使所述蒸发源在腔室内移动的蒸发源移动机构，其特征在于，在所述腔室内存在蒸镀位置和维护位置，所述蒸镀位置是向基板上形成蒸镀膜的位置，仅在所述蒸发源移动机构位于所述维护位置时，能够从所述蒸发源移动机构拉出所述蒸发源。
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