[实用新型]蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，该蒸镀装置具有：收容蒸镀材料的蒸发源、以及载置所述蒸发源以使所述蒸发源在腔室内移动的蒸发源移动机构，其特征在于，

在所述腔室内存在蒸镀位置和维护位置，所述蒸镀位置是向基板上形成蒸镀膜的位置，仅在所述蒸发源移动机构位于所述维护位置时，能够从所述蒸发源移动机构拉出所述蒸发源。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

在所述蒸发源移动机构设置有载置所述蒸发源并相对于构成蒸发源移动机构主体的基体板的上表面能够滑动的滑动板，

在所述基体板设置有为了使所述滑动板停留在所述蒸发源移动机构主体的所述基体板的上表面而对所述滑动板进行阻挡的阻挡机构。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，

在所述滑动板上设置有孔，在所述阻挡机构设置有销，在对所述滑动板进行阻挡时，所述销的前端的至少一部分处于所述孔内。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述滑动板的所述孔的直径比所述销的最大直径小且比所述销的前端面的直径大。

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述销的前端呈越趋向前端面直径越小的锥形。

6.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，

在所述蒸发源移动机构位于所述蒸镀位置时，所述销的前端的至少一部分处于所述孔内。

7.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，

在所述蒸发源移动机构位于所述维护位置时，所述销相对于所述孔能够出入，以便对所述滑动板进行阻挡或解除对所述滑动板进行阻挡。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，

通过作为驱动机构的气缸或电动机的动作来进行所述销相对于所述孔的出入。

9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，

在所述蒸发源移动机构从所述蒸镀位置移动到了所述维护位置时，通过所述气缸或电动机的动作，所述销从所述孔中退出以便解除对所述滑动板进行阻挡。

10.根据权利要求8或9所述的蒸镀装置，其特征在于，

在所述滑动板从所述腔室的外部被推回到了所述维护位置时，通过所述气缸或电动机的动作，所述销的前端的至少一部分进入所述孔内以便对所述滑动板进行阻挡。

11.根据权利要求8或9所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸镀装置还具有对所述气缸或电动机进行控制的控制部，

在所述蒸发源移动机构从所述蒸镀位置移动到了所述维护位置时，通过所述控制部对所述气缸或电动机进行的控制，自动进行所述销相对于所述孔的退出；在所述滑动板从所述腔室的外部被推回到了所述维护位置时，通过所述控制部对所述气缸或电动机进行的控制，自动进行所述销相对于所述孔的进入。

12.根据权利要求11所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸镀装置还具有对所述蒸发源是否移动到了所述维护位置进行检测的传感器，所述控制部基于所述传感器的检测结果，对所述气缸或电动机进行控制，以使所述销从所述孔中退出或进入所述孔中。

13.根据权利要求11所述的蒸镀装置，其特征在于，

在进行了所述销相对于所述孔的退出的情况下，所述控制部利用告知机构向作业者告知所述销的阻挡已解除，在进行了所述销相对于所述孔的进入的情况下，所述控制部利用告知机构向作业者告知所述销处于阻挡状态。

14.根据权利要求13所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述告知机构为显示面板、扬声器或指示灯。