[实用新型]蒸镀装置

说明书

本实用新型涉及蒸镀装置。该蒸镀装置具有：收容蒸镀材料的蒸发源、以及载置所述蒸发源以使所述蒸发源在腔室内移动的蒸发源移动机构，其特征在于，在所述腔室内存在蒸镀位置和维护位置，所述蒸镀位置是向基板上形成蒸镀膜的位置，仅在所述蒸发源移动机构位于所述维护位置时，能够从所述蒸发源移动机构拉出所述蒸发源。根据本实用新型的如上所述的结构，能够防止作业者在维护位置之外的其他位置处向外拉出蒸发源而导致基体板或操作手柄与腔室内的隔壁接触而产生破损。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀装置。

背景技术

用于在基板上形成蒸镀膜的蒸镀装置具有蒸发源，该蒸发源设置于蒸镀装置的腔室内。通过利用加热装置对蒸发源所收容的蒸镀材料进行加热，使该蒸镀材料蒸发或升华，从而在与蒸发源相向配置的基板上形成蒸镀膜。当需要对蒸发源进行维护作业时，例如蒸发源所收容的蒸镀材料用尽而需要补充新的蒸镀材料，或更换为不同种类的蒸镀材料来进行蒸镀时，需要从收容蒸发源的腔室中拉出蒸发源。通常，在对蒸发源进行上述那样的维护作业时，先将蒸发源移动至维护位置，再从蒸发源的维护位置起拉出蒸发源。上述操作通常由作业者通过手动来进行操作。然而，有时作业者并不知晓只能在维护位置处拉出蒸发源而在维护位置之外的其他位置处拉拽操作手柄以便将蒸发源拉出。或者，即便作业者知晓上述情况但在实际进行操作时有时误在维护位置之外的其他位置处拉拽操作手柄以便将蒸发源拉出。若如上所述在维护位置之外的其他位置处向外拉出蒸发源，则有可能会导致载置并收纳蒸发源的基体板或供作业者拉拽的上述操作手柄与腔室的隔壁接触而产生破损。

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述问题而作出的，其主要目的在于提供一种蒸镀装置，该蒸镀装置能够防止误在维护位置之外的其他位置向外拉出蒸发源而导致载置并收纳蒸发源的基体板或供作业者拉拽的上述操作手柄与腔室的隔壁接触而产生破损。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种蒸镀装置，该蒸镀装置具有：收容蒸镀材料的蒸发源、以及载置所述蒸发源以使所述蒸发源在腔室内移动的蒸发源移动机构，其特征在于，

在所述腔室内存在蒸镀位置和维护位置，所述蒸镀位置是向基板上形成蒸镀膜的位置，仅在所述蒸发源移动机构位于所述维护位置时，能够从所述蒸发源移动机构拉出所述蒸发源。

优选地，在所述蒸发源移动机构设置有载置所述蒸发源并相对于构成蒸发源移动机构主体的基体板的上表面能够滑动的滑动板，在所述基体板设置有为了使所述滑动板停留在所述蒸发源移动机构主体的所述基体板的上表面而对所述滑动板进行阻挡的阻挡机构。

优选地，在所述滑动板上设置有孔，在所述阻挡机构设置有销，在对所述滑动板进行阻挡时，所述销的前端的至少一部分处于所述孔内。

优选地，所述滑动板的所述孔的直径比所述销的最大直径小且比所述销的前端面的直径大。

优选地，所述销的前端呈越趋向前端面直径越小的锥形。

优选地，在所述蒸发源移动机构位于所述蒸镀位置时，所述销的前端的至少一部分处于所述孔内。

优选地，在所述蒸发源移动机构位于所述维护位置时，所述销相对于所述孔能够出入，以便对所述滑动板进行阻挡或解除对所述滑动板进行阻挡。

优选地，通过作为驱动机构的气缸或电动机的动作来进行所述销相对于所述孔的出入。

优选地，在所述蒸发源移动机构从所述蒸镀位置移动到了所述维护位置时，通过所述气缸或电动机的动作，所述销从所述孔中退出以便解除对所述滑动板进行阻挡。

优选地，在所述滑动板从所述腔室的外部被推回到了所述维护位置时，通过所述气缸或电动机的动作，所述销的前端的至少一部分进入所述孔内以便对所述滑动板进行阻挡。